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标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象 [打印本页]

作者: hngyc 时间: 2003-7-19 04:20
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
各位大侠：
你们好！我今天蒸发一氧化硅，电子束打在一氧化硅上，把挡板打开，光学膜厚控制仪，不变化，我的坩埚中的一氧化硅都从坩埚中跳出，没蒸发成我的膜料倒损失了一半。

请问如何蒸发一氧化硅？？？

作者: jet 时间: 2003-7-19 17:54
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
建议用舟蒸发！

作者: feiyang 时间: 2003-7-20 05:14
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
枪功率太大，用底功率的舟蒸发！

作者: hngyc 时间: 2003-7-20 08:05
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
谢谢两位大侠的的指点！

作者: rambo 时间: 2003-7-20 19:09
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
为什么，舟一般是对付低功率的的镀膜材料的？那镀膜材料的低功率是怎么定义的？

作者: nickzheng 时间: 2003-12-29 04:43
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
对于高熔点的膜料一般用电子枪蒸发，熔点低的膜料一般用各种材料的舟进行热蒸发。不过热蒸发牢固性比较差。

作者: cryyo 时间: 2004-2-5 15:22
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
舟蒸发是什么意思？是不是用很宽的低功率电子束加热坩锅，让坩锅加热材料。

我想蒸SiO2,今天用氧化铝坩埚放了些纯SiO2。用电子束加热没一会儿，SiO2还没怎么熔呢，坩埚就裂了。谁用电子束真空镀过SiO2？给介绍介绍经验。多谢了。

作者: Jesus 时间: 2004-2-5 16:49
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
SiO用电子束蒸发也应该可以的啊，我也蒸过SiO，觉得其熔融性质和Ta,Ti差不多，但枪功率确实低些。
另外，cryyo你的问题请从坩埚材料和坩埚冷却方面着手，我觉得是这方面的原因。

作者: Jesus 时间: 2004-2-5 20:24
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
哦，弄错了，我蒸的是Si.不是SiO.hoho.sorry,sorry

作者: ydtear 时间: 2004-2-7 00:50
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
多半是試料皿沒有清潔干淨

作者: yh15430 时间: 2004-2-7 05:55
标题: 膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象
舟的材料不对，所以不好蒸。

作者: chz3210 时间: 2004-3-26 17:52

我们蒸发ＳＩＯ２一般也都是用电子枪，我想你会不会镀的时候光斑打到坩锅上了，

再不然就是你的坩锅跟水冷系统接触不好，

作者: chz3210 时间: 2004-3-26 17:54
坩锅裂掉是因为你的坩锅跟水冷系统接触不好，

作者: ebxbo 时间: 2004-3-26 17:59

建议用石墨坩埚。不过还要有些技巧。ebxbo@ntu.edu.sg

作者: ebxbo 时间: 2004-3-26 18:01

建议用石墨坩埚。还要有些技巧。ebxbo@ntu.edu.sg

作者: jacobcheng 时间: 2004-3-30 00:09

如果用電子槍蒸發SiO時，需要將功率調整到相當的小，以我的經驗而言，初期電子槍的功率約是預熔塊狀TIO2的1/7，然後在逐漸增加電子槍功率到1/4（這需要慢慢的增加，不然就如同您的經驗一樣，SiO都從坩堝中跳出），一直到Shutter打開之前, 以上僅是我個人經驗.........僅供參考.........謝謝..........另外，哪位朋友可以告知SiO哪裡買？我的聯絡方式為 jacob.cheng@msa.hinet.net.......非常的感謝您

作者: darkspace4321 时间: 2004-6-15 06:17
标题: 回复：（hngyc）膜料的蒸发———讨论各种膜料蒸发现象...

不知还可用石墨坩埚来蒸SiO,有何些技巧？钨舟,钼舟,或钽舟是否更好? 那种最好?

谢谢，

Dark

作者: qhbd 时间: 2004-6-15 20:42

石墨坩锅要比氧化铝坩锅耐热，SIO,SIO2熔点都不高，枪的功率一定慢慢的增加，要看清束斑的位置

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