光电工程师社区

标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级） [打印本页]

作者: idodi 时间: 2003-9-3 04:59
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
或者介绍一些这方面的资料也好，谢了。

作者: ic5 时间: 2003-9-3 05:16
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
目前最好的方法就是光控法,在本网站的技术资料中有些介绍性的文章.

作者: bessie0151 时间: 2003-9-3 05:19
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
ic5晶控和光控同时进行将会更好！

作者: slyz 时间: 2003-9-6 23:00
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
我只知道，
最好的是椭偏移（公认的）
其次是台阶仪
在由就是利用光普法（投射，反射），（我有一个小程序，透射法的可以送给你用）
肯定不会有版权问题，呵呵！

作者: brian 时间: 2003-9-9 15:48
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
slyz 兄,可以发给我吗?我的邮件是nqh1978@163.com,谢谢

作者: Jesus 时间: 2003-9-9 18:03
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
透射光谱法测膜厚？单层还是多层都可以测？

作者: idodi 时间: 2003-9-23 03:56
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
这种办法到不错，只是不知道什么原理，slyz兄能简单的介绍一下？

作者: 冲浪高手 时间: 2003-9-23 19:31
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
本公司有仪器可测量,精度可达10nm级

作者: carry 时间: 2003-11-30 00:42
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）
石英晶控可以达到0.1nm级别，我们用的就是。

作者: wbw 时间: 2003-12-1 19:45
标题: 请教关于薄膜厚度测量的一些方法和仪器（纳米级）

下面引用由slyz在 2003/09/06 03:00pm 发表的内容：
我只知道，
最好的是椭偏移（公认的）
其次是台阶仪
在由就是利用光普法（投射，反射），（我有一个小程序，透射法的可以送给你用）
...

基本同意，椭偏法测膜厚好是好，但是如果膜系比较复杂，不熟练的话是测不准的，从实用上来讲，我觉得还是台阶仪好，光谱法测膜厚现在的一些分光光度计就是用此方法，我个人认为这是很好的方法，但是测得准不准好不好还要看光路的设计还有软件的设计。slyz，把你的小程序发给我好吗？wbw99@163.com,谢谢。

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