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标题: [求助]一氧化硅的均匀性？ [打印本页]

作者: yeye 时间: 2003-9-21 21:58
标题: [求助]一氧化硅的均匀性？
蒸发sio稳定性不好，夹具上下层有时上面颜色深，有时下层深，膜厚仪走的挺一致的。
另sio可以用电子枪吗？请各位前辈不吝赐教！
谢谢了！

作者: kuan 时间: 2003-9-23 20:02
标题: [求助]一氧化硅的均匀性？
1.有色差可用修正板輔助
2.在真空度差的狀況下工作或許均勻性匯好點
3.sio 應該不行用電子槍

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