光电工程师社区
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题 [打印本页]
作者: mykosovo 时间: 2003-10-8 22:45
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
请问大侠们：做PECVD镀膜时的真空度要求是多少？ 5E-1Pa够么？
作者: mykosovo 时间: 2003-10-9 06:07
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
怎么没人回答我，好可怜，55555555555555....
作者: Fengs2002 时间: 2003-10-9 23:31
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
PECVD 镀膜是什么东东？
作者: mykosovo 时间: 2003-10-10 02:19
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
下面引用由Fengs2002在 2003/10/09 03:31pm 发表的内容：
PECVD 镀膜是什么东东？
不好意思，让您见笑了。
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
(等离子体增强化学气相沉积)
作者: Fengs2002 时间: 2003-10-10 17:55
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
[这个贴子最后由Fengs2002在 2003/10/10 10:37am 第 1 次编辑]
哦，多谢指教！
可能大家不回答是因为一般都是搞电子枪沉积或电极沉积的吧！
作者: mykosovo 时间: 2003-10-10 20:34
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
这不矛盾吧？ 按我的理解，电子枪（也叫电子束吧）只是一种辅助手段，比如蒸发里有普通的热蒸发，还有常用的电子束蒸发。类似的还有离子束和分子束，如分子束外延（MBE）等。
只是蒸发、溅射之类属于物理气相淀积（PVD），而PECVD属于化学气相淀积（CVD）而已。
不知道是不是这样？ 请指教！
作者: gu97c 时间: 2003-10-12 04:01
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
你的真空系统是什么样的||?
作者: mykosovo 时间: 2003-10-12 04:10
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
哦，就一个机械泵加一个罗茨泵
作者: lavajydm 时间: 2003-11-9 06:48
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
你和北京的华瑞真空联系 看看有什么可以帮你的！我们单位用的就是他们的产品！还行，毕竟是国产的嘛！支持国货了！（boss不肯花更多的cash啊！）
作者: lavajydm 时间: 2003-11-9 06:50
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
好久没来了！我先顶一下！兄弟要多多的看书啊！薄膜科学与技术手册 很好的！你去借！很专业的书籍！
作者: gu97c 时间: 2003-11-9 20:56
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
一个机械泵加一个罗茨泵组合的极限真空恐怕达不到5E-1Pa啊。
作者: hgw2001 时间: 2003-11-11 18:56
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
问题是你想高的话也高不了呀。你的真空设备就只有那个。没有法抽得高。理论上来说真空度是越高越好。
作者: xiao2000 时间: 2003-11-11 22:07
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
真空度在几Pa就应该可以了。
作者: xyqy 时间: 2003-11-13 04:42
标题: 初级菜鸟请教大侠们一个问题
下面引用由lavajydm在 2003/11/08 10:50pm 发表的内容：
好久没来了！我先顶一下！兄弟要多多的看书啊！薄膜科学与技术手册 很好的！你去借！很专业的书籍！
作者: eagle1 时间: 2004-4-5 06:32
PECVD is Plasma Enhenced CVD Deposition method. So this method is quite different from E-Beam deposition system. If you deposit materials like SiO2, the vacuum is not enough, but if can not reach even high vacuum, 5E-1Pa is ok la. Remember: the depostion pressure in chamber is about several tens mT or even more than one hundred mT.
1 atm=750T=750000mT=1E+5Pa
作者: likeoe 时间: 2004-4-8 19:06
PECVD可以做低压或常压的，我以前做的就是一个机械泵，还没用扩散泵呢。
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