光电工程师社区

标题: 求助！为什么膜会裂？ [打印本页]

作者: bessie0151 时间: 2003-10-29 23:54
标题: 求助！为什么膜会裂？
哪位高手可以告诉我，为什么双面镀膜时，当镀第二面时，第一面会发生膜裂现象？
多谢！

作者: ycxmy 时间: 2003-10-30 07:26
标题: 求助！为什么膜会裂？
第一面镀的是什么膜

作者: liumengdrago 时间: 2003-10-31 16:32
标题: 求助！为什么膜会裂？
我想主要是应力的问题，想办法解决一下就可以了。

作者: skipper 时间: 2003-10-31 17:06
标题: 求助！为什么膜会裂？
同意楼上朋友的看法，从成膜温度，成膜后的处理等方面着手进行些试验试试

作者: bessie0151 时间: 2003-11-1 18:06
标题: 求助！为什么膜会裂？
第一面做的是截止滤光片，成膜后要怎么处理才能减少应力而不增加散射呢？

作者: Jesus 时间: 2003-11-2 00:01
标题: 求助！为什么膜会裂？
可以考虑在高于成膜温度的烘箱中做退火老化处理，但对散射有无影响我不清楚，你要自己试下。第一面也是你们自己镀的膜吗？然后翻面镀制第二面的时候膜裂？

作者: bessie0151 时间: 2003-11-2 18:48
标题: 求助！为什么膜会裂？
当然第一面也是自己做的。可是间隔时间较长。
为什么要在高于成膜温度的烘箱里做老化处理呢，能否简单解释一下，多谢！

作者: HANZIXUN 时间: 2003-11-3 03:32
标题: 求助！为什么膜会裂？
在薄膜制成后，性质是会逐渐变化的，在沉积的过成中薄膜分子从气态到固态的变化太快，会有不同的缺陷产生，薄膜的沉积过程太复杂，不是几句说的清的，高温的退火老化也是为了改善薄膜的内部缺陷，理论方面的要去看资料了，反正在实际中可以提高牢固度和抗潮能力，也可以适当调整一下制备参数，不过怎么调整我也不好说，大虾们发表点意见哈

作者: bessie0151 时间: 2003-11-3 17:50
标题: 求助！为什么膜会裂？
谢谢！受教了.

作者: hakuto 时间: 2003-11-13 19:33
标题: 求助！为什么膜会裂？
在第一次成膜时，如果水汽的问题没解决好，也可能产生膜裂

作者: wbw 时间: 2003-11-19 19:47
标题: 求助！为什么膜会裂？
你具体用什么镀膜方法的？

作者: zhuhhui 时间: 2003-11-20 00:29
标题: 求助！为什么膜会裂？
我想也是退火会好些！

作者: wazxq 时间: 2003-11-20 19:10
标题: 求助！为什么膜会裂？
退火处理能消弱应力吗？

我看还要看镀膜方式，离子辅助和溅射

作者: carry 时间: 2003-11-29 23:56
标题: 求助！为什么膜会裂？
[100]可能是温度太高了，
适当降温就ok了

作者: hongfaz 时间: 2003-12-1 17:00
标题: 求助！为什么膜会裂？
应该是应力

作者: likeoe 时间: 2003-12-1 20:39
标题: 求助！为什么膜会裂？
如果是时间隔久了，也要小心退火，要裂的!一般这种两面的膜层数都很多的膜，要么做完第一面马上就做第二面，要么做完第一面后马上放到干燥器里，小心水汽!放的时间也不能太久，几天就算够长了，再镀第二面。

作者: ic5 时间: 2003-12-1 22:20
标题: 求助！为什么膜会裂？
如果是镀截止滤光片都会出现崩膜的现象，我认为主要是外界的因素！
如果每次都会出现这样的情况，请从工艺参数考虑：温度、离子源参数、真空度等
如果偶尔出现这样的情况，请从过程做作考虑：如工件的清洁、真空室的清洁、真空泵有无异常等。

作者: 315 时间: 2003-12-3 16:04
标题: 求助！为什么膜会裂？
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可能是温度太高了，
适当降温就ok了
直100？？？？？

作者: sofa88888 时间: 2003-12-4 02:05
标题: 求助！为什么膜会裂？
退火也是一个解决薄膜应力的一种方法

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