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标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度 [打印本页]

作者: sanshu 时间: 2003-4-5 20:03
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
如何测量薄膜的厚度以及内应力大约在微米量级上谢谢

作者: ic5 时间: 2003-4-8 01:49
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
到上海光机所薄膜中心去问问，他们那里的研发力量还是强大的！

作者: coating 时间: 2003-4-13 17:06
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
应力可以用干涉仪测量，薄膜厚度可以到上海光机所薄膜中心用nkd薄膜分析仪进行测量。

作者: lavajydm 时间: 2003-4-29 03:21
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
你的薄膜是什么类型的啊？？
是有机物还是金属膜？？

作者: zzf 时间: 2003-5-1 00:42
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
可以用dektak 的台阶仪测试

作者: lavajydm 时间: 2003-5-1 07:36
标题: 氧化物薄膜如何测应力厚度
光谱分析仪器

作者: a99533126 时间: 2011-6-19 08:20
学习了

作者: greenhaw 时间: 2011-6-29 20:01
都可以用a-step测试，厚度直接测试，应力通过测试Bowing值计算。

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