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标题: 论h4充氧对膜系影响? [打印本页]

作者: qaxx    时间: 2003-11-24 03:29
标题: 论h4充氧对膜系影响?
[30][这个贴子最后由qaxx在 2003/11/23 07:35pm 第 1 次编辑]

充氧大一点小一点,对膜系影响不大,一般充氧在12以上至30为好。
作者: chugqchugq    时间: 2003-11-24 16:44
标题: 论h4充氧对膜系影响?
充氧12以上至30是什么意思?

作者: Jesus    时间: 2003-11-24 19:03
标题: 论h4充氧对膜系影响?
晕,应该是sccm吧
楼主大哥,拜托下次题目别起那么大,论h4充氧对膜系影响?  
结果只一句话,虽说是涉及工艺,可能值钱。
但既然是论,怎么着也得把原因及原理,可能的影响说清楚吧。
纯属个人意见,楼主见谅
作者: yeye    时间: 2003-11-28 03:28
标题: 论h4充氧对膜系影响?
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作者: 315    时间: 2003-11-28 20:09
标题: 论h4充氧对膜系影响?
ssssss
作者: chugqchugq    时间: 2003-11-28 23:50
标题: 论h4充氧对膜系影响?
不充氧行不行?
作者: ic5    时间: 2003-11-29 00:46
标题: 论h4充氧对膜系影响?
个人认为,有离子源存在的情况,充氧的主要意义已经是对真空度的影响了,我想对材料的影响已经不大了!大家说是吗?
作者: Jesus    时间: 2003-11-29 18:11
标题: 论h4充氧对膜系影响?
ic5 的意思是离子源所离化的离子氧已经足够氧化反应的进行了,所以充氧只是对真空室的压强进行控制,从而达到对材料折射率的控制是吧?
但对于高吸氧的材料,如Ti,离子源的氧离子足够反应的吗?
我没试过, ic5做过相关方面的试验吗?
作者: 315    时间: 2003-11-29 20:15
标题: 论h4充氧对膜系影响?
sssssss
作者: schrly    时间: 2003-11-30 07:02
标题: 论h4充氧对膜系影响?
同意 Jesus !
作者: mxbplayboy    时间: 2011-5-15 18:13
学习中
作者: huang12949    时间: 2011-5-17 10:55
充氧不足,吸收.  反射曲线OK,透过率低下.这就是影响
作者: yong0009    时间: 2011-5-17 11:30
关注!
作者: xiaolan125    时间: 2011-5-17 13:28

作者: chenchen    时间: 2011-5-17 16:00
充氧的目的就是降低材料吸收以及折射率控制。




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