光电工程师社区

标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？ [打印本页]

作者: darly 时间: 2004-1-30 07:25
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
小弟只知道要采用到99.999%！
那使用99.995% 及99.95% 或99% 除了价格外，
将会有何差异？

作者: 风寒雪月缺 时间: 2004-1-30 19:59
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
会引入气体杂质吧.会影响镀膜质量

作者: darly 时间: 2004-1-30 20:23
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
老哥，那么对折射率的影响如何？

作者: chugqchugq 时间: 2004-2-7 18:27
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
90%以上足已

作者: wazxq 时间: 2004-2-7 23:56
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
我觉得主要是用氧气做离子源工作气体的，纯度高点有好处。保护离子源，我用99.99%的

作者: lootooer 时间: 2004-2-10 19:13
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
楼上说得对！

作者: ic5 时间: 2004-2-11 19:57
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
除了保护离子源外，还应该有其他的原因吧，比如某些气体会产生很大的吸收。会使膜料产生变化。楼上chugqchugq所说的到90%，镀点普通膜还可以，象高精度膜那是肯定没戏的。

作者: chugqchugq 时间: 2004-2-12 19:58
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
氧气能保护离子源？笑话。
离氧活性比其他气体大几个数量级，所以我们用99%的氧就已很好了。

作者: 从头再来 时间: 2004-3-4 21:17
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
那么请问，镀多层膜时。通氧气的多少是一个什么样的定义？

作者: breeze9062 时间: 2004-3-4 22:14
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
据我所知，氧气的纯度应该和膜层的牢固度有关系，因为纯度不高的话，镜片的脱膜现象是非常严重的。所以我采用的氧气纯度最起码5个9。

作者: breeze9062 时间: 2004-3-4 22:20
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
老大们，好象现在镀膜烧药时不需要通氧气吧？现在的SIO2和ZRO2里面含有压缩氧气，镀膜前打离子原通的应该是氩气吧？

作者: zhuhhui 时间: 2004-3-7 05:57
标题: [讨论]镀膜使用的氧气纯度？
对是氩气！

作者: yufe16fisher 时间: 2011-4-27 16:45
标明为5个9的高纯氧纯度会不会有问题？
为什么镀膜时流量不变，几台机器都是这样，却失氧了？

作者: hillybh 时间: 2011-4-29 11:57
纯度不高，含杂质气体，对膜层性能有影响。

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