光电工程师社区

标题: CRYOPUMP&POLYCOLD [打印本页]

作者: 风寒雪月缺 时间: 2004-1-30 21:06
标题: CRYOPUMP&POLYCOLD
这两种装置的主要区别在哪里?

作者: darly 时间: 2004-1-31 09:22
标题: CRYOPUMP&POLYCOLD
CRYOPUMP====与扩散Pump、涡轮Pump作用一样都是高真空用之Pump！
POLYCOLD====是位于上述Pump上方进入舱体之前的一个冷凝装置，使用时
可以产生-140℃的低温用来捕捉舱体内的水气或阻挡扩散Pump
所产生的油气避免进入舱体内污染被镀物！
结论：两者可视为手足！尤其使用扩散Pump者 ( 无论是冷镀或热镀 )，更需要
采用POLYCOLD来阻挡讨厌的油气分子！

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