光电工程师社区

标题: 请问溅射膜的附着性如何？ [打印本页]

作者: darly 时间: 2004-2-6 01:32
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
请问溅射膜的附着性如何？
玻璃基板边缘有膜剥落的话，是何种原因造成？

作者: coatingli 时间: 2004-2-6 01:37
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
是磁控溅射吗，应该比热蒸发的要好多的，不过膜层应力会大些。

作者: darly 时间: 2004-2-6 01:42
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
是啊！是磁控溅射！
若是有应力产生，为何使用粘胶带测试时，
只有边缘出现膜掉落？应该是全面性的剥落啊？
请指教！感谢！

作者: coatingli 时间: 2004-2-6 01:45
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
不知道您出现的具体状况是什么，是四周边缘都掉膜，还是只有一个边缘，有没有考虑清洗，以及玻璃在存放过程中是否出现了发霉。一般玻璃发霉是从边缘开始的

作者: yh15430 时间: 2004-2-6 05:25
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
应主要考虑是基片清洁不够，基温不合适1

作者: likeoe 时间: 2004-2-6 07:08
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
靶多大？基底多大？是不是所有周围都剥落？

作者: darly 时间: 2004-2-6 21:24
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
我们有做直线切割后，膜从切割边缘掉一点点！
一开始我也认为是基板清洁的问题……
只是用粘胶带作测试却只有切割边缘会一点点掉膜，其它的地方就不会……
这样真的很难判定！
就请集思广益救救我吧！

作者: chugqchugq 时间: 2004-2-7 18:49
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
边缘效应

作者: wazxq 时间: 2004-2-7 23:51
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
他说的是在切割后边缘脱膜呀，这样的话就是膜不牢了，我用离子辅助镀膜做Nb2O5时遇到过这种情况，Ta2O5没有，就是膜不牢，看看离子源有没问题，以及真空等等

作者: darly 时间: 2004-2-8 23:54
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
您所指的[边缘效应]指的是什么意思？
可否进一步说明！

Wazxq兄，请教一下：
因为我也是使用Ti靶，不知您是如何使用？
真空、离子源POWER………等等！
我都已经使用到2.0*10-1Pa，真空的问题应该可以排除吧！

作者: wazxq 时间: 2004-2-9 22:59
标题: 请问溅射膜的附着性如何？

我是用离子辅助镀膜，不是溅射，我对溅射镀膜不懂，所以不敢乱说。

你是用VEECO的SPECTOR 吧，我用的是ION TECH的16mm离子源，两种镀膜还是不同的。
不过是溅射镀膜的话，离子源肯定重要，可检查一下。在设备保证的情况下，就是摸索工艺了。

作者: chugqchugq 时间: 2004-2-10 01:28
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
镀膜时薄膜的应力分散分布，达到一种平衡，线切割后，薄膜的边界变了，应力必须重新分布，边缘掉膜是应力重新分布的一种表现。要解决就要降低应力等。

作者: darly 时间: 2004-2-10 04:55
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
OK!
十分感谢楼上的两位仁兄的说明！
我再摸索一下镀膜工艺，一有眉目
我一定贴出来分享！

作者: heyanch 时间: 2004-2-11 19:07
标题: 请问溅射膜的附着性如何？

下面引用由darly在 2004/02/05 05:42pm 发表的内容：
是啊！是磁控溅射！
若是有应力产生，为何使
只有边缘出现膜掉落？应该是全面性的剥落啊？
请指教！感谢！

用粘胶带测试时，就不应该从边缘开始,你没见过测试规范吗?我们的要求距离边缘2mm,但即使从边缘拉膜层也没有脱落.

作者: ic5 时间: 2004-2-11 19:41
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
我认为还是由于应力的影响，切割时出现迸裂，肯定是由于应力重新分布所致。

作者: wazxq 时间: 2004-2-14 01:59
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
说应力原因很有道理，如果消应力的话，是不是要将加热减小了。

作者: lazulite 时间: 2004-2-15 03:19
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
材料不同，有不同的内应力，加温有助於减少内应力，
也可以试试把工作气体压力减少。

作者: sunny2002 时间: 2004-2-17 03:25
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
是否可以考虑非平衡磁控溅射?

作者: darly 时间: 2004-2-20 10:31
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
感谢各位大哥的指导！
日前，小弟受到 lazulite兄小小的启示之后，
现在正在尝试将原来的片子加热250~300℃
消除内应力！
不知可不可行，试试看呗！

作者: wazxq 时间: 2004-2-20 21:09
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
错了，降温才有助于减少应力，想想看镀膜时温度250，镀完后20度

作者: zz 时间: 2004-3-10 23:40
标题: 请问溅射膜的附着性如何？
应力问题了

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