光电工程师社区

标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！ [打印本页]

作者: haibo368 时间: 2004-3-14 05:48
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
我在镀膜过程中膜厚很是不均匀，依靠自己经验制作的修正板好了一点
不知道哪位大侠有好的办法或是计算的方法请指教！

作者: zz 时间: 2004-3-14 06:05
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
那就造着你的经验继续啊

作者: 对与错 时间: 2004-3-14 23:54
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
继续修扶正板，还有伞差

作者: haibo368 时间: 2004-3-15 05:46
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
什么是伞差？请指教

作者: breeze9062 时间: 2004-3-15 23:28
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
你有几块修正板，韩国人一般采用4块。

作者: zhuhhui 时间: 2004-3-15 23:58
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
这个主要靠经验了，多镀几次

作者: zheng 时间: 2004-3-17 01:56
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
用分光机确认差异,然后根据分光图用投影法调整,很大程度都是靠经验,不要迷信公式或软件.

作者: haibo368 时间: 2004-3-17 03:20
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
请仔细指教挡板的位置
请你吃饭

作者: 百变 时间: 2004-3-20 20:26
标题: [求助]李伟华：镀膜真空室中用来修正膜厚均匀性的修正挡板。请各位大哥指教多谢！
膜厚不均匀不单是档板的事，还关系到你的钟罩是多大的。因为我在镀膜的时候，一般最下好几层都是不能放镜片的。就是因为膜厚不均匀。你看看你的钟罩，把镜片每层放一片做一下实验。然后做正式的时候就放在实验合格的那几层就可以了。

作者: isfm 时间: 2004-5-11 06:27
什么是伞差？请指教

作者: yh15430 时间: 2004-5-11 07:02
标题: 膜厚修正
9楼说的对，膜厚修正应具体情况具体分析，源与基片高的、源致公转中心半径及“伞差"大小都会影响膜层均匀性。依据影响膜厚主要原因，进行修正则事半功倍！

作者: yin99 时间: 2004-5-11 07:25
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作者: zhoucheng 时间: 2004-5-11 17:36
慢慢修吧,我也是一次一次的修

作者: Leesnow 时间: 2004-5-11 18:02
还没有人说什么是伞差啊!虽然是慢慢的靠经验来修,但是应该有一些好的方法来利用吧!

作者: 雪花飞扬 时间: 2004-5-16 04:04
标题: [建议]
多修几下就可以

作者: yin99 时间: 2004-5-16 04:59
提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

作者: loyaldavis 时间: 2004-5-24 20:06
伞差到底是什么东西？

作者: ken8447 时间: 2004-12-8 23:40
希望就在彼岸

作者: 镀膜加游戏 时间: 2004-12-9 01:57

有位仁兄说了，一般他的下面不放产品（镜片吧）

我不同意他的说法，这样一来把每天的产量给减少，这样自然而然的成本也上去了！

你们想一想，要是你来做老板也不会同意这样的做法的！

只有一个方法就是修叶片！

一般在韩国都是用4叶片来均匀药品的！我们的也是！（有一台我是用2个叶片的）

也可以用一个大一点的叶片！

你可以用一线测量均匀法进行修正！（很多详细的方法在这里说不明白，见谅）

然后后面的你们自己好好想想吧，不明白的可以给我留言或打电话！

不知道能不能对你们有所帮助，大家都是做这个的嘛！

希望以后大家能共同努力，共同帮助！谢谢大家！

作者: 67866110 时间: 2005-4-7 02:15
我知道怎么做,但在说不清楚,我随便说一说吧,你可以看看之前那些修正板,在机台里用一个小灯泡照着,看看它的影子落在伞架和镜片的什么住置,你也可以用同样方法,做出不用形状的更好的修正板了,自己再想想吧

作者: lubin 时间: 2005-4-7 18:27

你用的什么机器？如果是南光或河南中光等国产机，可以先用分光计测出整伞的伞差（就是一伞的上中下圈的膜厚差别）再用投影法修正扶正板，当然这是要用你的经验按比例修正……

作者: xxyz 时间: 2005-4-7 20:58
均匀性修正程序DEMO版地址为：http://www.cametricsvacuum.com/thinfilm/download.htm

作者: 2011059 时间: 2012-9-7 12:12

路過學習

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 14:15

作者: crl0129 时间: 2013-12-8 13:46
多修几次就可以了

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