光电工程师社区

标题: 请问圈内同行，一个镀膜问题？ [打印本页]

作者: E501559 时间: 2011-5-12 12:45
标题: 请问圈内同行，一个镀膜问题？
在每次我们将设备清洁干净后（换铝箔），生产出来的第一炉产品总是反射率低导致报废，请问是什么原因？（镀的是金、铬和硅）

作者: jiayuch 时间: 2011-5-12 12:54
清洁干净不贴铝箔试试

作者: ghtzna 时间: 2011-5-12 13:05
要空镀哈

作者: WENJINGREN 时间: 2011-5-12 13:48
换铝箔后要镀一次测试片，先不要加工产品

作者: xfx9721 时间: 2011-5-13 13:13
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作者: 宇宙深处 时间: 2011-5-13 13:41
设备清洁干净后（换铝箔），先高温烘烤一炉(空抽)试一试

作者: wlinliu 时间: 2011-5-14 01:24
标题: null
抽气烘烤，或空镀一炉

作者: wlinliu 时间: 2011-5-14 01:25
标题: null
第一炉修改膜厚

作者: chenchen 时间: 2011-5-17 16:06
换好后先进行试镀膜。结果验证后才能投入生产

作者: 496316388 时间: 2011-5-18 11:25
上面说的都不错

作者: lunik 时间: 2011-5-18 12:27
清洁后,肯定会改变的,所以楼上的说的不错的

作者: wazxq 时间: 2011-5-18 16:22
大家有分析过原因的吗，铝箔放气会导致反射率？

作者: snscm 时间: 2011-5-18 18:51
回复 xfx9721 的帖子

刚清洗过设备，应该是腔室气氛不好导致的吧？铝箔放气？

作者: E501559 时间: 2011-6-15 08:51
大家观点和见解几乎雷同，我个人认为可取。

作者: ghtzna 时间: 2011-6-15 14:01
机台开门时间太久，水汽多，要加热开门

作者: ghtzna 时间: 2011-6-15 14:02
要从清洁间隔时间和温度这块考虑

作者: a99533126 时间: 2011-6-17 13:34
厉害。。。

作者: E501559 时间: 2011-6-20 15:51
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