光电工程师社区

标题: 光学TOOLING=光控控制波长÷实际镀出来的波长这个波长怎么理解 [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2011-5-16 19:27
标题: 光学TOOLING=光控控制波长÷实际镀出来的波长这个波长怎么理解
如题里面的波长怎么理解呢

作者: ds1234567 时间: 2011-5-17 06:25
本帖最后由 ds1234567 于 2011-5-17 06:27 编辑

送检测量温度一般是20度,而加工时真空室温度通常高于此温,膜层几何厚度d或相位厚度因温度变化小,折射率n变化大,波长的相位差=2nd,温度导致在线测量控制存在误差,这个光学方式控制的误差需要修正,比值小于1是偏薄,大于1是偏厚.

作者: WENJINGREN 时间: 2011-5-17 15:06
学习学习

作者: a99533126 时间: 2011-6-14 09:25
学习学习

作者: 逐梦者 时间: 2011-9-15 21:43
实际镀出来的波长指的是哪个波长？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-9-16 09:53
应该是指常温下膜系所对应的适用波长。

作者: yibi11 时间: 2011-9-16 17:13
光控控制波长就是你镀膜时单色仪上调的波长，实际镀出来的波长就更简单了，你镀出来是什么波长就是什么波长撒，比如你做532AR，但做出来峰值在550，那550便是你镀出来的波长嘛。。。。

作者: wlinliu 时间: 2011-9-16 19:13
换一种简单的理解方法：把波长改为厚度，镀出来的厚度要根据光谱图（光谱数据）来算

作者: otxtc 时间: 2011-9-17 01:13
把等式中的波长改为光学厚度。理解就不用那么费劲了。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-9-26 10:18

对于我这个半路出家的，波长我理解，光学厚度我不理解啊。。。。

作者: john03062003 时间: 2011-9-28 17:38
简单来讲（以单层Mgf2膜为例），你设计的参考中心波长为550nm，走一个四分之一波长的光学厚度，假如镀出来的测试光谱（R%）最低点在580nm，说明你镀厚了，需要把参考波长减小，这样才能使测试光谱的最低点移到550nm处，因此Tooling也就出来了：550/580=?自己去算了哦！

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-10 07:37

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-10 08:39

john03062003 发表于 2011-9-28 17:38
简单来讲（以单层Mgf2膜为例），你设计的参考中心波长为550nm，走一个四分之一波长的光学厚度，假如镀出来的 ...

你的这个意思就是设计参考波长就等于监控膜厚时监控波长了哇，那监控波长不等于膜系设计波长又怎么换算呢，谢谢了，学习中

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-10-10 09:13
我看过一个前辈留下的镀膜参数，监控波长大约是所使用波长的1/4，这是怎么回事啊？

作者: opfans696 时间: 2012-1-28 00:21

Jimmy_tang 发表于 2011-10-10 09:13
我看过一个前辈留下的镀膜参数，监控波长大约是所使用波长的1/4，这是怎么回事啊？

是不是你镀的膜太厚了没有那种光源，用4个极值代替的。

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-1-29 08:59

opfans696 发表于 2012-1-28 00:21
是不是你镀的膜太厚了没有那种光源，用4个极值代替的。

确实是这样的。我现在设计的时候，也是把波长折算到760nm以内。

作者: zjtzzw 时间: 2012-2-1 18:44
按7楼说的想就对了。

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)