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标题: 除霜异常为什么会造成整体脏污？ [打印本页]

作者: wm1227 时间: 2011-5-20 19:06
标题: 除霜异常为什么会造成整体脏污？
我们的真空蒸发镀膜机用的是油扩散泵，镀膜完成后，腔体盘管除霜异常（除霜后过几分钟温度由40又降到了零下130度），结果整炉产品都脏污了，请问下是什么原因啊？

作者: WENJINGREN 时间: 2011-5-21 12:53
具体点，开真空室门时是多少度，脏污能擦掉吗？

作者: wm1227 时间: 2011-5-21 13:00
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开真空室门时盘管温度为-120度左右，脏污用吹不掉，没有试过擦拭，由于我们做的是小镜片，直接报废掉了。

作者: WENJINGREN 时间: 2011-5-22 12:52
先解决不除霜的问题。

作者: wm1227 时间: 2011-5-23 00:09
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不除霜的问题已经解决了，是因为隔离阀被冻住了。

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