光电工程师社区

标题: 关于滤光片发雾的问题 [打印本页]

作者: zofy 时间: 2011-6-11 21:13
标题: 关于滤光片发雾的问题
用78*78*0.3的D263基片镀滤光片后在60W灯光下检查有发雾的现象，整面都有，请问各位是不是镀膜的原因？？

如果是会是哪几方面的原因呢？镀膜时温度310，实测为280

膜料更换后也有发雾现象，是不是清洗不干净呢??

请高人指点，谢谢！

作者: zofy 时间: 2011-6-12 18:15

作者: longmin 时间: 2011-6-12 22:38
鍍前檢查有異樣嗎

作者: E501559 时间: 2011-6-13 18:13
1、是否洗干净；
2、膜料是不是换过批号或供应商；
3、真空度，温度等问题，逐一排除

作者: xiao2011 时间: 2011-6-13 21:13

作者: zofy 时间: 2011-6-14 08:31

E501559 发表于 2011-6-13 18:13
1、是否洗干净；
2、膜料是不是换过批号或供应商；
3、真空度，温度等问题，逐一排除

sio2我更换过，也把Ti3O5换成过Tio2，还是有雾
Ti3o5的真空度从1.4*-4toor，改为1.6*-4toor ,1.8*-4toor,2.0*-4toor均无改善
温度从310降为200度时也一样，无明显改善

作者: zofy 时间: 2011-6-15 19:34

作者: ghtzna 时间: 2011-6-17 10:39
速度多少？
靶材预融怎样
你能把你那个制程参数更详细的说出来
机器是哪家的？

作者: yufe16fisher 时间: 2011-6-17 12:55
基片是否有烤干？延长烘烤时间。

作者: zofy 时间: 2011-6-18 21:43

ghtzna 发表于 2011-6-17 10:39
速度多少？
靶材预融怎样
你能把你那个制程参数更详细的说出来

QQ: 67049788 请多指点，谢谢！

作者: ghtzna 时间: 2011-6-21 13:45

zofy 发表于 2011-6-18 21:43
QQ: 67049788 请多指点，谢谢！

甭把你的技术当成机密了，兄弟。要开放一点

作者: HGcoating 时间: 2011-6-23 11:24
基片没清洗好，或方法不对

作者: jiayuch 时间: 2011-6-24 15:34
镀膜问题与清洗无关放过那帮清洗的小妹吧

作者: ychm1002 时间: 2011-6-24 20:00
基低镀前没处理好，没镀膜是看不出来的。。。

作者: wazxq 时间: 2011-6-25 08:30
查一查以前的论坛内容，这个早都讨论过，你更换TiO2 用其他高折射基本不会有问题的。Ti的老毛病，晶格

作者: ww040109117 时间: 2011-6-25 12:30
滤光片的工艺，外面好多人都能背下来，呵呵

作者: xiao2011 时间: 2011-6-26 15:51

作者: zofy 时间: 2011-6-27 20:47

ghtzna 发表于 2011-6-21 13:45
甭把你的技术当成机密了，兄弟。要开放一点

不是兄弟把技术当机密，是我更换过很多镀膜指数和条件，一真都没解决，想和同仁们仔细聊聊

作者: zofy 时间: 2011-6-27 20:53

ww040109117 发表于 2011-6-25 12:30
滤光片的工艺，外面好多人都能背下来，呵呵

我刚接触滤光片，还请指教，我工艺感觉没问题，但做出来的产品就是不透明，有雾蒙蒙的现象！
想学习下，然后改进自己的工艺，谢谢

作者: 山村野夫 时间: 2011-7-3 03:23

zofy 发表于 2011-6-27 20:53
我刚接触滤光片，还请指教，我工艺感觉没问题，但做出来的产品就是不透明，有雾蒙蒙的现象！
想学习下， ...

你的滤片加工时离子源工艺还是非离子源工艺？离子源透亮工艺温度在150度左右。非离子源工艺温度在250度左右。另外离子源能量，ACC电压，TI3O5的蒸发速率的影响也很大，建议将离子源能量和ACC增加，TI3O5速率降低，片会变亮一点。

作者: x_x_x_f 时间: 2011-7-12 22:14
Wazxq大哥说的对。换用其他高折材料就没有这个问题了。
如果一定要用钛，请注意充氧，避免产生晶格。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-19 11:23
如果使用诸如MgF2镀个过渡层的话，是否能够解决这种问题呢？

作者: lovemannyzhu 时间: 2012-10-9 05:27
温度继续降低130左右！

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