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标题: 窄带滤光片设计 [打印本页]

作者: ghtzna 时间: 2011-6-25 16:00
标题: 窄带滤光片设计

求高手指点设计膜堆，使用TI/SIO2靶材

作者: yin99 时间: 2011-6-26 19:32
提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

作者: wazxq 时间: 2011-6-27 13:20
不知道楼主的具体要求，看楼主贴图曲线这个明显不是三腔可以达到。
还是贴出具体要求的好

作者: ghtzna 时间: 2011-6-28 16:47

wazxq 发表于 2011-6-27 13:20
不知道楼主的具体要求，看楼主贴图曲线这个明显不是三腔可以达到。
还是贴出具体要求的好

T50= 左825 右875NM
带宽基本在50NM，截止深度OD3 或OD2 在750-800nm 900-1000NM 1001 -1100 nm T(AVG) <1%
其余可见光截止即可
目前主要是设计问题，带宽不好找适当的膜堆。求高手了

作者: liguang 时间: 2011-6-29 22:37
高手啊

作者: xiaolan125 时间: 2011-6-30 17:04

高手

作者: wazxq 时间: 2011-6-30 22:15
本帖最后由 wazxq 于 2011-6-30 22:17 编辑

这个至少要用5cavity ,

不过以这个实际情况用35-40层的膜去优化更好，主要看用什么设备来实现

作者: sery1234 时间: 2011-7-1 08:41
关注中，

作者: ranguangpu 时间: 2011-7-2 10:33
继续顶啊，学习学习

作者: ghtzna 时间: 2011-7-2 13:38

wazxq 发表于 2011-6-30 22:15
这个至少要用5cavity ,

不过以这个实际情况用35-40层的膜去优化更好，主要看用什么设备来实现

使用的光驰机台，调试的过程中还发现HB 800 基板表面容易氧化，镀完膜后拉膜脱膜。
真希望用D263T基板，但是客户指定的哈
努力改善中

作者: filmokay 时间: 2011-7-3 10:14
本帖最后由 filmokay 于 2011-7-3 10:15 编辑

光驰机也可以装靶材了？
还是把要求写下来，看你贴的图里面好像是很多杂峰(截止带).

作者: ghtzna 时间: 2011-7-3 10:22

filmokay 发表于 2011-7-3 10:14
光驰机也可以装靶材了？
还是把要求写下来，看你贴的图里面好像是很多杂峰(截止带).

T50= 左825 右875NM
带宽基本在50NM，截止深度OD2 在750-800nm 900-1000NM 1001 -1100 nm T(AVG) <1%
其余可见光截止即可
光驰机台离子镀啊，靶材就是药材了，可能叫法不一样

作者: zofy 时间: 2011-7-24 21:47
前几天我也做过样的膜，是用黑色玻璃（300--700）截掉的，用了30多层搞点

作者: ghtzna 时间: 2011-7-24 21:57

zofy 发表于 2011-7-24 21:47
前几天我也做过样的膜，是用黑色玻璃（300--700）截掉的，用了30多层搞点

是用什么机台做的哈

作者: zofy 时间: 2011-7-24 23:21

ghtzna 发表于 2011-7-24 21:57
是用什么机台做的哈

韩一机 HVC--1300

作者: ghtzna 时间: 2011-7-25 08:40

zofy 发表于 2011-7-24 23:21
韩一机 HVC--1300

不错啊最近我的机台是光驰的需要保养了折射率来回变化很大再现性不行

作者: fasces9 时间: 2011-7-25 11:26
与这个相似的膜系客户要求我设计过，不过带宽是100nm的，T=50% 为800nm 900nm，因为380-750那里要求不严格，所以与yin99说的第1种方案差不多

作者: ghtzna 时间: 2011-7-26 08:03

fasces9 发表于 2011-7-25 11:26
与这个相似的膜系客户要求我设计过，不过带宽是100nm的，T=50% 为800nm 900nm，因为380-750那里要求不严格， ...

带宽越窄，越难控制，目前做带宽10nm的 D263t 在峰值能达到98%以上，可是就是不稳定不知是不是这种膜系很敏感还是机台再现性不好

作者: fasces9 时间: 2011-7-26 09:44

ghtzna 发表于 2011-7-26 08:03
带宽越窄，越难控制，目前做带宽10nm的 D263t 在峰值能达到98%以上，可是就是不稳定不知是不是这种膜系 ...

用莱宝机直接光控，稳定性在正负2nm之间，就是T不高

作者: ase11132 时间: 2011-8-5 01:43

作者: fql3310 时间: 2011-10-2 13:54
有没有这样的单子给我做?联系我：１２３８３１４０３QQ

作者: fql3310 时间: 2011-10-2 14:05
像VEECO机都是这样的．不一定用光控走极值．成本高啊．

作者: ghtzna 时间: 2011-10-2 22:24

fql3310 发表于 2011-10-2 14:05
像VEECO机都是这样的．不一定用光控走极值．成本高啊．

呵呵自己已经做出来了 OTFC 市场很好啊

作者: b06010914 时间: 2011-10-5 00:34
其实可以考虑用非规整膜系走的，按普通的IR膜系设计思路就可实现，大不了用晶控。

未命名.jpg (109.63 KB, 下载次数: 237)

作者: wzf0602 时间: 2011-10-5 14:27

b06010914 发表于 2011-10-5 00:34
其实可以考虑用非规整膜系走的，按普通的IR膜系设计思路就可实现，大不了用晶控。

晶控如果精度达不到要求的话，制备的结果会大受影响的，这个问题你们怎么解决的？

作者: fql3310 时间: 2011-10-5 19:55
用晶控代替光控．

作者: ghtzna 时间: 2011-10-5 22:07

fql3310 发表于 2011-10-5 19:55
用晶控代替光控．

个人还是推崇光控+ 不过来宝的更先进直接监控

作者: wangxudong1227 时间: 2011-10-6 14:33
本帖最后由 wangxudong1227 于 2011-10-6 14:34 编辑

fasces9 发表于 2011-7-26 09:44
用莱宝机直接光控，稳定性在正负2nm之间，就是T不高

请问，你们这边能做多少左右，850波长附近的透过率，基板D263T
94.5%算不算高了？单面。
直接光控首选，然后是晶控。间接光控···不好玩啊不好玩

作者: fasces9 时间: 2011-11-14 17:00

wangxudong1227 发表于 2011-10-6 14:33
请问，你们这边能做多少左右，850波长附近的透过率，基板D263T
94.5%算不算高了？单面。
直接光控首选 ...

94.5% 差不多吧有时候还没有94%呢

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-14 19:53

作者: cxm05371 时间: 2011-11-16 13:43

学习学习

作者: lkai1014 时间: 2012-7-6 12:42

作者: 想夜的雨 时间: 2012-7-6 14:10
看看

23_avatar_big[1].jpg (3.45 KB, 下载次数: 290)

作者: 250674670 时间: 2012-7-6 22:52
发现你们都是高手，像这样的膜，一般透过也就在90左右，做的好的最多在95，

作者: 250674670 时间: 2012-7-6 22:57
带宽10nm的上面有个牛人说透过做到98％，真的假的，别把牛吹死了，你如果带宽做到10nm的，我手上有你做不完的产品，透过我不需要98，94就可以，

作者: fql3310 时间: 2012-7-7 02:42
35楼的朋友，如果你有那意向的话，加我QQ吧，我QQ123831403，我们详谈。先打样也行。

作者: wazxq 时间: 2012-7-8 10:09
本帖最后由 wazxq 于 2012-7-8 10:15 编辑

250674670 发表于 2012-7-6 22:57
带宽10nm的上面有个牛人说透过做到98％，真的假的，别把牛吹死了，你如果带宽做到10nm的，我手上有你做不完 ...

这个指标是可以做到的,对于好的设备别说10nm,1nm都是可以做到的，供参考，你有这种产品需求？ wazxq2002@163.com

作者: 想夜的雨 时间: 2012-7-8 12:25
看看

新建 BMP 图像.jpg (2.34 MB, 下载次数: 294)

作者: fcyfjh 时间: 2012-7-10 11:12

作者: 诸葛流星 时间: 2012-7-12 08:09
层数好多啊！

作者: zouyou828459 时间: 2012-7-13 22:47

wazxq 发表于 2012-7-8 10:09
这个指标是可以做到的,对于好的设备别说10nm,1nm都是可以做到的，供参考，你有这种产品需求？

要双面镀膜吧？

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