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标题: 离子束加工简介 [打印本页]

作者: yang1268 时间: 2011-6-27 12:42
标题: 离子束加工简介
本帖最后由 yang1268 于 2011-6-27 15:32 编辑

离子束加工是利用离子束对材料进行成形或表面改性加工的一种工艺方法。离子束加工的原理与电子束加工原理基本相同，即在真空条件下，将离子源产生的离子经过电场加速、聚焦，使之打到工件表面。由于离子带正电荷，其质量比电子大数千，数万倍，所以离子束加速到较高的速度时，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它是靠微观的机械撞击能量来加工的，而不是靠动能转变为热能来加工的

离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所产生的三个效应，即撞击效应，溅射效应和注入效应。具有一定动能的离子入射到工件材料表面时，可以将表面的原子撞击出来，这就是离子的撞击效应和溅射效应。如果将工件直接作为离子轰击的靶材，工件表面就会收到离子刻蚀。如果将工件放置在靶材附近，靶材原子就会溅射到工件表面而被溅射沉积吸附，使工件表面镀上一层靶材原子的薄膜。如果离子能量足够大并且垂直工件表面撞击时，离子就会钻进工件表面，这就是离子的注入效应

离子束加工的特点

1 加工精度高，而且便于精确控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以精确控制尺寸范围。

2 产生污染少，离子束加工在高真空中进行，污染少，特别适合加工易氧化的金属、合金及半导体材料。

3 加工应力、变形极小。离子束加工是一种原子级或分子级的微细加工，作为一种微观作用，其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工，而且加工表面质量高。

详情请参考 www.opturn.blog.sohu.com/163238936.html

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作者: yang1268 时间: 2011-6-27 12:43

作者: yang1268 时间: 2011-7-3 18:27

作者: ﹏ゝ﹏ゝ 时间: 2011-7-5 12:00

作者: yang1268 时间: 2011-7-5 18:42
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