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标题: 关于镀金膜的膜不牢问题 [打印本页]

作者: xiaojiang007    时间: 2011-6-29 19:26
标题: 关于镀金膜的膜不牢问题
我现在做金膜产品    发现三次都是膜层不牢  用透明胶带一拉金就掉了   我用的是络打底,用了离子源 ,后来因为拖膜,就在镀金的时候没用离子源, 但是还是一样膜不牢   温度是120度       现在我都不知道是那的问题了 ,  速率 温度 还是什么地方问题呢      还请大家帮忙解答下   谢谢
作者: greenhaw    时间: 2011-6-29 19:39
本帖最后由 greenhaw 于 2011-6-29 19:40 编辑

你的基体是什么?用铜做过渡最好,Ti也可以,只要基体清洗干净结合力没问题。
作者: xiaojiang007    时间: 2011-6-29 19:47
greenhaw 发表于 2011-6-29 19:39
你的基体是什么?用铜做过渡最好,Ti也可以,只要基体清洗干净结合力没问题。

我用的是珞做过度     铜比我用的要 好些吗  还有我其他的条件可以吗   比如说温度  离子源只类的   
作者: greenhaw    时间: 2011-6-29 19:49
主要取决于基材的状态,如果基材表面氧化用什么做过渡都没用。
作者: john03062003    时间: 2011-6-30 17:24
我之前有做过没有用离子源,直接冷镀,有铬作为连接层(几个nm足够),本底真空抽的稍高一点,没有碰到这种现象,很牢固的。
作者: xiaojiang007    时间: 2011-6-30 20:37
john03062003 发表于 2011-6-30 17:24
我之前有做过没有用离子源,直接冷镀,有铬作为连接层(几个nm足够),本底真空抽的稍高一点,没有碰到这种 ...

那是不是我的温度高了呢   120度    还有请问这位朋友用过离子源吗    效果如何   还有如果镀金速率慢了  是否回有影响呢  
作者: greenhaw    时间: 2011-6-30 20:50
xiaojiang007 发表于 2011-6-30 20:37
那是不是我的温度高了呢   120度    还有请问这位朋友用过离子源吗    效果如何   还有如果镀金速率慢了  ...

记错以前工艺,以前我镀金工艺流程是 基材层是Ni,离子源清洗,镀钛,镀钛和金混合层,镀金,3M胶带测试结合力OK。
作者: xiaojiang007    时间: 2011-6-30 20:51
greenhaw 发表于 2011-6-29 19:49
主要取决于基材的状态,如果基材表面氧化用什么做过渡都没用。

可以说说表面氧化是什么意思 不大理解啊    谢谢  
作者: sery1234    时间: 2011-7-1 08:45
这么久了 这个问题还没有解决啊
作者: sery1234    时间: 2011-7-1 08:46
反正我感觉,机器弄干净点,真空度高点,冷镀加CR打底,怎么都不会掉膜啊
作者: greenhaw    时间: 2011-7-1 16:07
xiaojiang007 发表于 2011-6-30 20:51
可以说说表面氧化是什么意思 不大理解啊    谢谢


如果基体是Cu之类易氧化材料,depo时由于表面是氧化态结合力必然不好,所以必须通过前期化学清洗或离子源轰击去除氧化层,露出新鲜金属表面才能保证结合力.
作者: xiaojiang007    时间: 2011-7-3 21:46
sery1234 发表于 2011-7-1 08:46
反正我感觉,机器弄干净点,真空度高点,冷镀加CR打底,怎么都不会掉膜啊

镀完硌后我等了二十分钟才开始镀金,请问是什么样的顺序比较好   中间需要有间隔时间吗  
作者: 扬帆起航455    时间: 2011-7-4 17:00
脱模就比较麻烦,这个得好好想想,一般的胶带扯得下来,那就个更不用说吹砂实验了
作者: sery1234    时间: 2011-7-5 10:49
最好不要等那么长时间,镀完CR后,真空度到了,马上镀AU

作者: E501559    时间: 2011-7-13 13:12
中间最好不要停,温度控制在80以下,镀出来的肯定不脱膜;我们镀的也是金膜




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