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标题: 阻抗问题讨论 [打印本页]

作者: greenhaw 时间: 2011-6-29 20:07
标题: 阻抗问题讨论
在DC sputtering时，有一个参数是Impedance范围0-10000，请问如果过程中如真空度过高或功率很低引起阻抗很大，意味着什么，会不会对电源有损害？

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