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标题:
德国Roth&Rau公司简介
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作者:
yang1268
时间:
2011-7-7 23:07
标题:
德国Roth&Rau公司简介
Roth&Rau(以下简称RR)公司成立于1990年,为德国上市公司,规模超过1000人,年产值近3亿欧元。 RR MiroSystem分公司是RR总公司的技术基础,有近80人,专注于等离子体和离子束技术,每年的研发投入超过100万欧元。其产品包括离子源,等离子体源,RIE, PECVD, 离子束溅射镀膜机(IBS),磁控溅射镀膜机(MS),离子束铣(IM), 离子束抛光机(IBF)等。其产品可应用于高反射膜、低损耗薄膜、DLC薄膜、光栅刻蚀以及非球面加工等方面。
详情请参考 http://opturn.blog.sohu.com/entry/8463781/
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yang1268
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