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标题: 如何防止油扩散泵返油，提高抽速，提高镀膜质量 [打印本页]

作者: yangwenhai777 时间: 2011-7-8 15:24
标题: 如何防止油扩散泵返油，提高抽速，提高镀膜质量
本帖最后由 yangwenhai777 于 2011-7-8 15:27 编辑

超低温捕集泵
应用原理：
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
超低温捕集泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60—90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10ˉ5Pa）

在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、超低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

根据需要,二者可以分别安装或者同时安装：主要性能特点：
• 快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60—90%；
• 降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-145℃；
• 3分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
• 一台设备可设计两路负载输出；
• 进口压缩机，环保混合型制冷剂;
• 具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
• 当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
• 压缩机排气过高、压力过高保护；
主要零部件产地：
1.压  缩  机：美优乐（进口）
2.压力继电器：丹麦 DANFOSS
3.干燥过滤器：丹麦 DANFOSS
4.压力控制器：丹麦 DANFOSS
5.电  磁  阀：丹麦 DANFOSS
6.温度继电器：德国 LR
7.中间继电器：日本 OMRON
8.温度控制：日本理化RKC
冷凝盘管的制作：
根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。输入、输出的接口：
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。TH系列低温捕集泵主要性能指标
型  号 TH-135-5P TH-135-7P TH-135-10P TH-135-12P TH-135-15P
工作温度（℃） -120℃至-145℃
压缩机功率(KW) 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3
抽气速度（l/s） 51000 73000 101000 153000 250000
制冷量（W） 500 1200 1800 2500 3500
冷凝管表面积(m2) 0.3 0.5 0.7 1.0 2.0
冷凝管长度 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 20m,φ16mm 40m,φ16mm
外形尺寸mm
(宽x深x高) 750x800x1500 900x900x1750 950x980x1750 950x980x1750 900x1080x1780
电  压 380V 50HZ
预冷时间（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
降温时间（min） ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7
除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6
泵口内径（mm） ≤500 ≤800 ≤1000 双路输出双路输出
适用腔体直径(mm) ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000
冷却方式风冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃)
重量（Kg） 280 350 450 470 500

销售经理杨文海
电话 18600054733       13671058727
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