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标题: 急！请教高手们一个关于机械泵的问题？ [打印本页]

作者: E501559 时间: 2011-7-14 17:35
标题: 急！请教高手们一个关于机械泵的问题？
高手们，请教你们一个关于机械泵的问题？
我们有的机械泵是莱宝 D65B的，今天出现一个很烦恼的问题，因为机械泵里面的油很浑浊，所以我们先将里面的油放出来了，然后用新的油洗了一遍，之后再加上新的油，然后就出现恼火的问题了，开启机械泵发现抽速不如换油之前了，抽不到-1Pa了，检查了管路没有漏，所以请教高手们，这是什么原因？请大家帮忙一下，谢谢！

作者: geteng 时间: 2011-7-14 20:25
是不是扩散泵进水了。。

作者: zarke 时间: 2011-7-14 22:50
加的什么油？一般不需要抽那么高吧，不怕反油啊？

作者: E501559 时间: 2011-7-15 10:50

geteng 发表于 2011-7-14 20:25
是不是扩散泵进水了。。

不是的啊，我们用的是机械泵+罗茨泵和低温泵！

作者: E501559 时间: 2011-7-15 10:52

zarke 发表于 2011-7-14 22:50
加的什么油？一般不需要抽那么高吧，不怕反油啊？

加的是进口的CVP 190 真空油；不会反油的，之前的话，能抽到2.0-1Torr及一下呢！

作者: HGcoating 时间: 2011-7-15 14:31
把机械泵工作时和不工作时拍个照片上来看看

作者: lunik 时间: 2011-7-15 16:15
是否放出来的油和加进去的油不一样啊？？
要用丙酮洗后，再用新油洗的啊？
然后才能加新油啊

作者: lunik 时间: 2011-7-15 16:16
光机械泵抽到1*10E-1Pa也不错了，毕竟还有ROOTS PUMP呢。

作者: 漂流四方 时间: 2011-7-15 16:55
第一，看一下油位在标准线一下吗？你打开的那些口密封圈都安装好着吗？第二，让机械泵多工作几次再看看

作者: ﹏ゝ﹏ゝ 时间: 2011-7-19 14:57

作者: xiao2011 时间: 2011-7-19 21:34
是不是加油太多了？

作者: cxb007007007 时间: 2011-7-28 15:13
确认气振是否有堵塞

作者: wangjg8955 时间: 2011-8-18 21:48
学习中！

作者: LILISRLHJ 时间: 2011-8-18 22:33
呵呵，是不是买到山寨货那啊？应该是油的问题，吧之前放出来的有再灌回去试试就知道！

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-8-19 09:06

那些可能性都有，权威专家的建议我很赞成，可以先这样检查，再追查

作者: wangjg8955 时间: 2011-8-22 20:37
学习中！

作者: E501559 时间: 2011-8-23 08:30

LILISRLHJ 发表于 2011-8-18 22:33
呵呵，是不是买到山寨货那啊？应该是油的问题，吧之前放出来的有再灌回去试试就知道！

我们用的是进口的TVP Vaccum oil

作者: monggugi 时间: 2011-9-7 10:49
油加多或加少都有可能再有就是看看管道上的电磁阀是不是没联接好或者是坏掉了

作者: cxm05371 时间: 2011-9-20 21:54

作者: 革命小酒 时间: 2011-9-27 20:40
你们公司没有专业的技术人员？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-28 11:20

E501559 发表于 2011-7-15 10:52
加的是进口的CVP 190 真空油；不会反油的，之前的话，能抽到2.0-1Torr及一下呢！

抽调2.0-1Torr,那才2.66+1Pa啊，那你们低温泵是什么真空下开启的呢

作者: E501559 时间: 2011-10-10 15:23
谢谢各位高手帮忙！问题早已搞定！

作者: mfsw123 时间: 2011-10-28 13:22
学习！

作者: xiao2011 时间: 2011-11-2 15:38

作者: xingmengwuheng 时间: 2011-11-5 23:38
我们用的是不带油的，可以抽到10^(-1)PA以下

作者: E501559 时间: 2011-11-9 16:41

xingmengwuheng 发表于 2011-11-5 23:38
我们用的是不带油的，可以抽到10^(-1)PA以下

没有油的，那是什么泵啊，抽速那么好，推荐一下吧！你不会说的是罗茨泵吧！

作者: wcb674399566 时间: 2011-11-10 08:44

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-10 09:08
不带油的肯定是罗茨泵了。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-11-10 09:41
真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。
代表的真空泵
１：旋转式机械泵
２：分子泵（ＴＭＰ）
３：离子泵
４：Ti升华泵
５：低温泵

曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。

旋转式机械泵
以油封式真空泵为例加以介绍。
构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。
原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。
特征：
排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。
为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵。

分子泵（TMP）
构造：电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。
原理：每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。
特征：
不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。

离子泵
构造：强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。
原理：通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。
一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。
特征：
能达到超高真空(10-10Pa)
需要和其它初段排气泵组合。
有一定寿命。

Ti升华泵
构造：加热电阻丝、Ti材料(线或球)。
原理：通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。
特征：
排气速度大。
没有运动部分,没有振动。
需要和其它初段排气泵组合。
有一定寿命。

低温泵
构造：冷冻机、液态He。
原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。
特征：
能达到超高真空(10-11Pa)
排气速度快。
安装方向不受限制。

作者: 272813953 时间: 2011-11-15 21:39
加的油不到那会有这样的啊

作者: 272813953 时间: 2011-12-7 22:56
是不是你机台脏啊???

作者: laoxianccc 时间: 2011-12-15 23:03

莱宝接触相对较少

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-24 17:58
肯定是进水了！！

作者: wdydede 时间: 2012-5-13 02:49
“谢谢各位高手帮忙！问题早已搞定”
请LZ分享一下是什么原因

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