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标题: [求助]关于氧气压强的控制 [打印本页]

作者: vietti 时间: 2004-4-1 07:31
标题: [求助]关于氧气压强的控制

不太懂这一行，问两个粗浅问题：

1.一般通氧气是通过压强控制仪来控制，压强控制仪上的控制压强应该是指阀口附近的压强吧

而测真空室的真空度的电离计好像是在真空室外分子泵附近吧，

二者的压强值肯定不一样。控制氧气比如2×10－2Pa应该以后者读数为准，对吗？

2.如果加上个离子源，先通2×10－2Pa的氩气，要保持2×10－2Pa的氧气含量，通氧气后

真空度应该为4×10－2Pa，对吗？

作者: zz 时间: 2004-4-1 16:20

一般O2是流量计

先弄清是恒压还还恒流系统

作者: vietti 时间: 2004-4-1 18:09
Ar气是流量计，氧气是压强控制

作者: zz 时间: 2004-4-2 05:20

不同区域的压强肯定不一样了。

作者: yh15430 时间: 2004-4-2 05:32
标题: 真空计
不同部位测量，当然真空计的读数也不一样啦！

作者: coatingli 时间: 2004-4-2 16:44
是这样的，氩气和氧气一般用流量来控制比较科学

作者: lorniale 时间: 2004-4-3 23:52

我们以什么根据来判断我所用的流量是合适的呢？

还有我觉得我的机子上只有一个流量计的啊，那应该是不可以既通氧气又通氩气的了。

作者: zz 时间: 2004-4-4 05:21
弄个转换阀就可以了

作者: royyang 时间: 2012-6-25 09:33
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