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标题: 求助：关于离子源！ [打印本页]

作者: fulong927 时间: 2004-4-3 00:25
标题: 求助：关于离子源！

1）请问有没有人关注过离子源的污染问题。我用的是end-hall 源，无栅，据说污染回大些。

2）离子源辅助蒸发时的角度问题？

多谢各位大虾指教！

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