离子源通氩气放电时,同时开始通氧气,
对离子源工作有何影响?
没那么恐怖吧?
氧气也可以作为离化反应的气体的啊。只不过如果是用阴极灯丝加热式的离子源的话,灯丝容易氧化,需定期更换。
其他问题我想应该不大。