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标题: [求助]Al2O3速率变化太大 [打印本页]

作者: vietti 时间: 2004-4-8 18:33
标题: [求助]Al2O3速率变化太大

Al2O3的速率十分不稳，变化太大。

一般这种情况是预熔得不好或者还有其他的问题？

该如何调整呢？

哪位大大请指教一下！

作者: michaelzhj 时间: 2004-4-8 20:46
Al2O3的什么速率变化太大？说清楚点

作者: vietti 时间: 2004-4-8 22:05

沉积速率

作者: zz 时间: 2004-4-9 06:22

没有预熔好

作者: vietti 时间: 2004-4-12 16:51

一般AL2O3预熔的电子枪功率和沉积时的功率相比，哪个大些？

作者: vietti 时间: 2004-4-12 17:47

我预熔时功率比沉积时小些。

但有时挡板都被高温熏黑了，预熔时温度有这么高吗？

还是我预熔的功率太大了？

作者: zz 时间: 2004-4-12 18:41
难道它的熔点比TA2O5还高吗?

作者: ababab 时间: 2004-4-13 00:42
Al2O3确实不是很好镀。对电子枪要求较高。

作者: cjyzq 时间: 2004-4-13 07:01
Al2O3蒸镀：－看预熔、二要调整好电子枪的光斑大小。

作者: xfx9721 时间: 2004-4-13 17:12
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作者: sauke 时间: 2004-4-14 17:47
你可先确定蒸镀时最后稳定下来的功率，SOAK PW1 可略高于这个功率，SOAK PW2 略低于这个功率。这样有利于在蒸镀时的功率稳定。

作者: yzhuang 时间: 2004-4-29 03:20

预熔时功率可稍大些，要让表面全部熔化，蒸镀时让光斑大一点，并且一定要熔开后才打开挡板！

作者: wanhj 时间: 2004-4-29 07:55
我赞同楼上的观点.

作者: vietti 时间: 2004-4-30 22:04

预熔时功率大点，是否要达到在表面熔出个洞来的程度？

作者: zheng 时间: 2004-5-1 05:39
尝试一下用块状的Al2O3,较容易控制速率.也好预熔.

作者: zjtzzy 时间: 2004-5-8 00:14
预熔时的功率只要把材料充分熔化即可。

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