光电工程师社区

标题: 问题：非球面面形检测 [打印本页]

作者: damoco 时间: 2004-4-9 09:46
标题: 问题：非球面面形检测

请教：现在生产上都用什么仪器或手段检测非球面面形？

我做毕业论文是这个题，请各位发表一下言论

作者: guangxuehao 时间: 2004-4-11 16:51

去实习,实践一下不见知道了吗!

作者: damoco 时间: 2004-4-12 18:19

以下是引用guangxuehao在2004-4-11 8:51:54的发言：

去实习,实践一下不见知道了吗!

言之有理

作者: luoyinlong 时间: 2004-4-15 02:56

在要求高精度检测时，一般采用干涉仪，采用数字波面检测技术，即相位测量技术，该技术是以激光的波长来作为基准，精度可达百分之几个波长。ZYGO公司的产品，不过价格有点贵。

作者: kkk 时间: 2004-4-15 04:40

一般用輪廓儀檢查

作者: damoco 时间: 2004-4-16 18:08
輪廓儀的精度够么？测量时间长么？

作者: opticliu 时间: 2004-4-19 18:47
轮廓仪是通过接触是的测量，测量的时间一般较长。有些公司标榜的精度可以达到1nm。

作者: damoco 时间: 2004-5-22 04:23

原来如此。

现在的题目需要设计光栅测头，难那！

虽然手册上有结构图，但是看不懂啊！

作者: liunaneleven 时间: 2004-5-26 03:04

关于用轮廓仪检测非球面面形我很疑惑，轮廓仪不是检验表面粗糙度的吗？何时有检验非球面面形的功能了呢？非球面的面形我认为应该用ZYGO、WYKO、TAYLOR HOBSON的激光干涉仪检测。面形检测精度λ/30，λ/40都有，但价钱很昂贵。

作者: z983112 时间: 2004-5-26 04:19

轮廓仪是现在高精度非球面加工的必备

但是如果没有也可以在截距上看弥散圆的方法。但很受限制。

作者: zeoch 时间: 2004-5-27 07:21
同意楼上的说法，轮廓仪是高精度非球面加工的必备，如果是与车床相匹配的轮廓仪则更好，例如Taylor Hobson公司的Taylorsurf轮廓仪，听说可以测非球面面形精度，粗糙度以及顶点曲率半径等，其精度可达到0。02微米。

作者: zeoch 时间: 2004-5-27 07:32
请教：有谁知道面形精度的定义吗？Ra是平均粗糙度吧，那么面形精度如何表示呢？

作者: liuhk 时间: 2004-5-28 03:05

粗糙度Ra Rt有面形也有Ra Rt,粗糙度一般以Ra定義,面形用Rt定義

如要了解其相關資料請看說明書.

作者: 阿朱 时间: 2004-5-30 01:35

以下是引用damoco在2004-4-9 1:46:02的发言：

请教：现在生产上都用什么仪器或手段检测非球面面形？

我做毕业论文是这个题，请各位发表一下言论

请问你是哪个学校的？

作者: 飘儿 时间: 2004-5-31 18:46
非球面面型检测的确很困难，即使使用ZYGO干涉仪在调整时也存在一定难度，一般非球面加工方都会利用补偿镜来检测。

作者: yipchiman 时间: 2004-6-14 22:04
有誰知道用轮廓仪检测后能否反推出非球面方程式？

作者: 上海理工 时间: 2004-6-16 07:06
PGI1240就可以（光学逆向功能）！ZEMAX参数

作者: ruijieli 时间: 2004-6-16 17:13
如果有条件可用ZYGO干涉仪测，由于隔振平台限制和环境限制，只能测较短焦距的，如果没有定量的要求以及没有ZYGO干涉仪，可以用刀口仪看

作者: zeoch 时间: 2004-7-3 00:58
补偿镜有些麻烦吧，如果是多量生产才划算。

作者: cgzszy 时间: 2004-7-5 19:07

对这个方面很感兴趣，不知道透镜面型检测技术的国内状况如何，常用的方法还有哪些，主要优缺点，数据分析有没有相应的软件，评定标准是什么？请各位高手不惜赐教！谢谢！

作者: newdavy 时间: 2004-7-7 17:59

请问一下匀光片怎么测量呢?就是50*50mm的透镜阵列,透镜直径在4mm左右.

作者: wuzhonghua 时间: 2008-10-27 13:35
当前评价面形精度的方法有很多种
但是常用的是pv值以及rms。但是在激光聚焦核聚变装置中时psd也很重要。其他的评价标准也有很多，关键是镜子的用途以及加工方所要求达到的标准。

作者: a25359892 时间: 2008-11-18 11:20
日本松下的UA3P是最好的檢測設備,不論是UA3P或是TALOR HOBSON的任何機型都可以做逆向工程

作者: xiaoniu 时间: 2008-11-18 16:06

原帖由 ruijieli 于 2004-6-16 17:13 发表
如果有条件可用ZYGO干涉仪测，由于隔振平台限制和环境限制，只能测较短焦距的，如果没有定量的要求以及没有ZYGO干涉仪，可以用刀口仪看

ZYGO很贵的，据我所知，国内就那么一两台吧。

作者: xiaoniu 时间: 2008-11-18 16:37

原帖由 a25359892 于 2008-11-18 11:20 发表
日本松下的UA3P是最好的檢測設備,不論是UA3P或是TALOR HOBSON的任何機型都可以做逆向工程

UA3P是好东西，但太贵了，没几个买。

作者: a25359892 时间: 2008-11-19 09:25

原帖由 xiaoniu 于 2008-11-18 16:37 发表

UA3P是好东西，但太贵了，没几个买。

大哥,这些东西国内已经有不少了,光是UA3P我知道的最起码就有接近十部了,信泰,瑞声,三洋,日新,富士康,这些应该都听过吧

作者: ds1234567 时间: 2008-11-23 13:40
ZYGO长春至少有五个，长光机所、228、长光院、兰姆达、信泰。我见到208的最大口径300，但是不能直接检非球面。有检非球面专门的干涉仪。

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