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标题: 谁能提供镀制工艺参数 [打印本页]

作者: 飞天狐狸 时间: 2004-4-11 03:38
标题: 谁能提供镀制工艺参数

我要镀制激光反射膜

膜料是Ta2O5和SiO2

作者: cjyzq 时间: 2004-4-13 06:55
镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2 。

作者: 马大嘴 时间: 2004-4-13 18:02

镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2

波长？？？？膜系？？？？？？？？？？

作者: 快乐小鱼 时间: 2004-4-16 04:37

马大狭：请问激光反射膜的波长多少为最合适？

谢谢！

作者: cjyzq 时间: 2004-4-16 05:07

激光膜的种类（Laser)波长：

F2---157nm

ArF---193nm

KrF---248nm

Xecl--308nm

Xef---351~355nm

He-cd---325nm

N2---337nm

Ar---351~364nm

" 激光反射膜的波长多少为最合适？" 看你做那一波长（多点）的激光反射膜，根据波长点（多点）的要求进行膜系设计。

作者: yzhuang 时间: 2004-4-29 03:17
为减少吸收，镀激光反射膜最好用ZrO2,SiO2

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