| 型号: | MSKJ-100 |
| 技术指标: | |
| 性能特点: | 良好的人机界面:240×128图形点阵液晶显示,CCFL背光;能显示速率、功率曲线,显示速率偏差、工艺过程、本机状态;菜单式、目录式的编辑、显示;面板触模式的功能键、数字键。 可编辑、存储源、探头参数。 可编辑、存储多种材料、工艺过程。 易与镀膜系统构成闭环控制;对于不同材料,膜厚分辨率小于0.1nm;PID控制源功率以恒定沉积速率;开关量控制源及坩埚的选择;开关量输出本机的一些特定状态;开关量输入接受外部的激励信号。 |
| 用途: |
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国产晶控仪
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