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标题: ：★一个薄膜问题★ [打印本页]

作者: Oracle 时间: 2004-4-25 09:24
标题: ：★一个薄膜问题★

我想知道有什么简便又比较廉价的方法，实时测量和控制薄膜生长时的膜厚? (我现在是在一般的光学玻璃上镀铝膜)

先谢了！

作者: eagle1 时间: 2004-4-25 22:21

好像你不打算采用晶控. 我觉得你是不是可以按你设定的参数沉积薄膜,然后用台阶仪测试一下,这样可以知道大概的蒸法速率.但这也不是实时测量了.

作者: yin99 时间: 2004-4-25 22:47
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作者: lbc 时间: 2004-4-26 04:59

用眼睛看不透光就OK了！

作者: kent90 时间: 2004-4-26 06:01
这要看你用什么设备，如果设备不行，就没有廉价而简便的方法。

作者: Oracle 时间: 2004-4-26 06:37
多谢！

我这个大概需要精确到nano级，想在现有真空镀膜机上加装，可否再给点思路？

晶控大概成本多少？另外，我现在镀的是铝膜，可要是改镀别的贵重点的东西，那测个蒸法速率就费老钱啦，^_* 而且蒸发速率也受环境影响啊.....

作者: yh15430 时间: 2004-4-27 21:09
标题: 回复：（Oracle）多谢！我这个大概需要精确到nano级...
何谓nano?一般铝膜用目视源的亮度即可，要求高的做增强铝膜可解决。

作者: zjtzzy 时间: 2004-5-8 00:17
精确到nano级用时间控制即可，不一定要晶控。

作者: michaelzhj 时间: 2004-5-8 19:23

陈旧设备的话就没法或者不容易控制厚度了

可以先求出来沉积速率

作者: littlefun 时间: 2004-5-10 17:39

镀一次之后，测量一下，然后用时间控制应该足够了。

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-11 00:16
用光谱卡怎样？？

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