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标题: [讨论]关于蒸发挡板 [打印本页]
作者: vietti 时间: 2004-4-27 22:42
标题: [讨论]关于蒸发挡板
预熔时膜料蒸发到挡板上,但并不能附着上去,就象一层灰附在上面
挡板一开关,膜料被甩得到处都是。
有什么好的解决办法?
是因为挡板处沉积速率太高导致无法在挡板上镀上去吗?
这是普遍现象吗?
作者: zz 时间: 2004-4-28 16:10
MGF2?
作者: vietti 时间: 2004-4-28 18:36
是否因为挡板太光滑?
作者: zz 时间: 2004-4-28 23:48
那产品不是更光滑,不要镀膜了
作者: wanhj 时间: 2004-4-29 07:53
你现在使用的是什么膜料?
作者: vietti 时间: 2004-4-29 19:38
SiO2,Al2O3
难道因为挡板处蒸发速率太大,来不及形成膜层?
作者: wanhj 时间: 2004-4-30 07:33
能说一下成膜条件吗?
作者: coatingli 时间: 2004-4-30 07:58
我想是因为镀了好几锅,然后经常要加热,降温后开门,后又加热,重复进行,这样形成的膜层肯定会很疏松拉。最好是每次镀膜时将挡板用铝铂包好,镀完一锅后再更换新的铝箔
作者: zheng 时间: 2004-5-1 05:24
Al2O3很容易发生这样的现象一般 1.把挡板用喷砂机喷一下砂,2.每次打开真空室门时注意用吸尘器清扫 就没什么问题了.
作者: lazulite 时间: 2004-5-4 19:24
档板再加一层铁网吧,增加附获面积,很有效的。
作者: gxfdllg 时间: 2012-3-26 17:58
以上说的很有用,可以采取!!我们也是这样做的!
作者: 新手求教 时间: 2012-5-10 21:46
我们是加了铁网,然后每罩都要喷砂
作者: 新手求教 时间: 2013-1-26 08:59

作者: 逐梦者 时间: 2013-2-3 13:00
蒸发速率你设的是多少
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