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标题: 求教硅片抛光 [打印本页]

作者: 独孤求败 时间: 2004-4-30 21:17
标题: 求教硅片抛光
各位大虾,小弟最近在抛硅片时发现,光洁度很难抛,不知大家有什么高见,谢谢!

作者: 刘建 时间: 2004-4-30 21:31
抛光模易腐蚀，要勤修。

作者: 独孤求败 时间: 2004-5-1 00:42

抛光模易腐蚀，要勤修。是什么意思?

我个人认为与抛光辅料有关系,但不知用那种好?请指教!!!!

作者: 刘建 时间: 2004-5-17 21:13

因为硅片抛光剂腐蚀性极强，抛光模多做一些吧，要几小时换一个。

问题不在于抛光剂。

作者: jackonlee 时间: 2004-5-19 05:52
原来如此

作者: wwlaser 时间: 2004-8-2 21:03
硅片抛光应是很成熟的工艺选好抛光磨料.

作者: colman91155 时间: 2004-8-2 22:58

用抛光布吗？

作者: lczhy00001 时间: 2004-8-3 00:30
硅片抛光用化学抛光液,速度和效果不错,但氧化性太强.

作者: xin396 时间: 2004-8-6 01:02

呵呵。用化学抛光液，浸在里面抛。

作者: lczhy00001 时间: 2004-8-6 01:19

以下是引用xin396在2004-8-5 17:02:59的发言：

呵呵。用化学抛光液，浸在里面抛。

机械化学抛光法!

作者: BaiHC 时间: 2004-8-6 07:07

硅片抛光应该是很平常的事，如果需要的话与我联系。

作者: 52wuj 时间: 2004-12-16 17:29
你的光洁度是多少的啊？镜片直径有多大啊？晕哦~~~~~~~~~~~都没说清楚啊！0级的我不知道怎么抛！20-10的知道！10-5的合格率不高

作者: pingyuan 时间: 2004-12-17 01:30

我这有国内最好的硅片抛光工艺，需要帮助的话可与我联系

作者: cjx 时间: 2004-12-17 01:41
硅片做到0级应该是没问题的，就看你的工艺问题了．

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