扫描近场光学显微镜（SNOM）的分辨率突破了传统光学显微镜分辨率的衍射极限（即λ/2)，自80年代中期以来获得了很大的发展。到目前为止国外报道的SNOM的纵向分辨率最优可达到0.01nm。SNOM同时具有传统光学显微镜及扫描探针技术的优点，能对各种人工微细结构，如光栅、光波导、半导体结构及磁光材料、量子器件、生物样品等成像，展示其在材料科学、生物学、信息科学等领域广阔的应用前景。SNOM与光谱技术相结合则可以实现定域光谱、荧光探测以及单原子、分子的探测与识别。因此，SNOM相对于扫描探针技术的家族中其他成员如扫描隧道显微镜和原子力显微镜等，有着不可替代的优点。
（摘自：刘秀梅，王佳，李达成，扫描近场光学显微镜及其初步应用，中国激光，第26卷，第9期。）
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