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标题: 鍍膜過程中白點形成原因 [打印本页]

作者: material 时间: 2004-5-4 19:13
标题: 鍍膜過程中白點形成原因

大哥大姐好…

最近在鍍膜過程中，常常鍍膜完, 分光OK,但外觀會有白點產生，請問白點產生原因…，可否有徹底解決之道…(使用TA2O5IAD與SIO2搭配…)。

作者: lwh 时间: 2004-5-4 19:29
應該是chamber內太髒了，多清潔幾次就可以啦。

作者: material 时间: 2004-5-4 20:28
小清後，還是會有白點問題…應該不是chamber太髒造成…還有沒有其他形成原因。

作者: zwl 时间: 2004-5-4 22:32

清洗不够干净！

镜面还有碱性溶液残留！

作者: material 时间: 2004-5-5 05:04
白點並非基板清洗不夠乾淨，好像鍍膜過程中噴藥造成ㄉ，可是蒸度速率還蠻穩ㄉ，是使用水晶監控。

作者: material 时间: 2004-5-5 05:13

白點有的刮的掉，有ㄉ括不掉，應該是鍍膜過程製程ㄉ。

chamber不管（大、小清），所有全部東西，大部分都會經噴砂，且四周都會貼鋁箔。故可確保chamber是乾淨ㄉ。

作者: 对与错 时间: 2004-5-5 23:06
是镀的多层的吧，药可能有杂物掉进去了

作者: 对与错 时间: 2004-5-5 23:07
最好安装离子枪好的多

作者: yin99 时间: 2004-5-5 23:52
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作者: material 时间: 2004-5-6 18:25

1。基底清洗不好…所有鏡片都確認a級品，雙檢才上鍋，

2。真空室里不干净、…那更不可能，才剛做完年保養，並確保chamber是無污染ㄉ

3。膜料没有预先熔好…每一顆都是okㄉ，而且鍍膜之前再預融一次。

4。电子枪功率不稳定…查過了…功率蠻穩定ㄉ。

還有沒有其他特殊解決之道…

作者: sanma 时间: 2004-5-7 03:32
不知是镀几层的，就镀两三层先看看会不会

作者: zheng 时间: 2004-5-7 05:56

ying99提的你都没问题的话,就查一下以下5点:

1.锡箔纸(铝箔)------一般锡箔纸有两面,一面很亮,另一面表面有一层膜,亮的一面应在里面,不亮的一面在外面,不亮的那面要用百洁布(思高牌,其余的杂牌不行)沾擦玻璃的药剂把那层膜擦掉后才能使用.

2.用温度计测定一下玻璃处的实际温度,一般应该是260~280.

3.确认一下镀sio2的坩埚边缘是否有厚厚的一层白色的东西,若有就彻底的清扫.

4.确认回转是否有与其他地方相碰或摩擦,

5.确认你回转的滚珠清扫时用了什么,(只需用擦玻璃的药水泡一下,取出,喷一点润滑剂就OK了,千万不能用防锈剂.

作者: wanghd 时间: 2004-5-7 20:49

鍍膜后出現白點是經常性的, 白點的具體狀況是什麼狀況:

1. 如果白點能使用刀片刮除,且同時出現掉膜現象應該是鍍膜前基板上有白點臟物,或者是鍍膜過程中鍍膜上的,

2. 如果白點能使用刀片刮除且不會出現掉膜現象, 應該是鍍膜以后粘上的, 可能是鍍膜機內太髒或者是鍍膜車間環境不好.

作者: breeze9062 时间: 2004-5-8 01:45
你不如检查以下电子枪冷冻管上是否有白色粉状物可能是它造成的。因为我们以前有过，就是在除掉冷冻管的白色粉状物解决的。

作者: material 时间: 2004-5-8 10:33
电子枪冷冻管曾經懷疑過…但証實好像沒有多大效用…應該不是主因…

作者: zz 时间: 2004-5-8 18:49
SiO2喷点或吸附的尘埃

作者: xfx9721 时间: 2004-5-9 00:19
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作者: kimmy 时间: 2004-5-9 23:01
清洗剂缄性太强

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-11 00:12
有没有轰击？

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-11 00:13
轰击板毛了也不行

作者: wqmei 时间: 2004-5-18 23:01
有没有用离子源，可以查看一下

作者: nqh1978 时间: 2004-5-20 01:35
我觉得有可能是膜料的喷点，或者是基片上有酸性或碱性的痕迹

作者: 对与错 时间: 2004-5-22 04:02
机台常洗些，还有你说的是多层吧，药要干净些，最好用有离子枪的机台镀

作者: chao_li0622 时间: 2012-9-23 18:48
把镀膜电流减小点和预溶时间加长点试试

作者: wdydede 时间: 2013-1-6 21:46
太可悲了，TIO2和SIO2产生白点，有人说用Ta2O5代替TIO2,这样好象也不行！！！！

作者: 超越 时间: 2013-1-7 08:48

作者: chao_li0622 时间: 2013-1-8 19:52
用离子源扫下会好很多

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