光电工程师社区

标题: 如何融矽(SI) [打印本页]

作者: material    时间: 2004-5-5 05:59
标题: 如何融矽(SI)

大哥大姐們:

常在預融矽(SI)過程中,造成矽爆掉,有沒有特殊融矽方法…可供參考。

急需…


作者: coatingli    时间: 2004-5-8 23:09
刚开始小功率,不要操之过急,我用国产机做过,比较稳定,折射率在3.3左右
作者: yh15430    时间: 2004-5-9 06:09
标题: 回复:(coatingli)刚开始小功率,不要操之过急,我用...

Coatingli,你放在什么坩埚上蒸?


作者: coatingli    时间: 2004-5-9 15:44

就是无氧铜坩埚啊,呵呵,只是到最好清洁坩埚的时候那叫一个麻烦


作者: yh15430    时间: 2004-5-9 19:11
标题: 回复:(coatingli)就是无氧铜坩埚啊,呵呵,只是到最...

thanks!


作者: vietti    时间: 2004-5-14 22:21

怎样测Si的折射率?

不是一放在空气中就氧化了吗?


作者: yin99    时间: 2004-5-15 05:50
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作者: yin99    时间: 2004-5-15 06:11
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