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标题: 如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案？ [打印本页]

作者: biomems 时间: 2004-5-10 01:17
标题: 如何检测ITO导电膜刻蚀出的图案？
请问如果利用ITO玻璃上的ITO导电膜刻蚀微电极，通过什么方法检测腐蚀后图案的好坏？谢谢

作者: coatingli 时间: 2004-5-10 01:38

用显微镜看啊

作者: biomems 时间: 2004-5-10 21:34
但是ITO膜是透明的，如何分辨啊？

作者: coatingli 时间: 2004-5-10 21:36

可以的，我们就是这么做的

作者: biomems 时间: 2004-5-11 19:14
好的，我试试看。谢谢！

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