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标题: 关于25层的膜系 [打印本页]

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-10 17:14
标题: 关于25层的膜系

我现在镀1063nm R99.6膜用TIO2 SIO2需要25层时间太漫长那位大侠有高招望指点感激

作者: wdmli 时间: 2004-5-10 17:53
好像不用镀这么多层吧？你用什么工艺镀的？

作者: yin99 时间: 2004-5-10 19:00
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作者: lazulite 时间: 2004-5-10 20:30

试试Ta2O5(IAD)+SiO2吧

TiO2成膜结晶控制较不稳

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-10 23:51
以前镀15层 R是98 现在根据客户的要求有加了十层测试结果还行。可是合格率不是很高估计和TIO2的吸收有关大家对控制方面有什么心得？？

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