光电工程师社区

标题: [讨论]一个光控的问题 [打印本页]

作者: vietti 时间: 2004-5-11 17:03
标题: [讨论]一个光控的问题

光学监控膜厚变化一般通过玻璃片进行工作

如果镀SiO2，其折射率与玻璃片十分接近，其膜厚变化基本不影响反射率

因此光控无法监控其光学厚度，对吗？

难道是需要用其他折射率的监控片进行监控吗?

EriFrd42.pdf

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[讨论]一个光控的问题

作者: yin99 时间: 2004-5-11 17:35
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作者: vietti 时间: 2004-5-11 18:49

那如果不预先镀一层其他材料，光控上就看不出来了，是吗？

作者: 马大嘴 时间: 2004-5-11 22:21
直接镀SIO2 到没试过我以前镀的时候先镀的TIO2 用的K9的比较片。

作者: Jesus 时间: 2004-5-11 22:38

那如果不预先镀一层其他材料，光控上就看不出来了，是吗？

如果不镀预镀层，则整个1/4 SiO2层走值不明显，如果你的光控的信号噪声再大点，根本就无法监控了。

作者: wanghd 时间: 2004-5-12 02:46
可以直接使用K9 玻璃監控SiO2, 只是透過率變化比較小而已, 不知道你用的什麼光控系統, 有些鍍膜機對光信號有放大作用就可以使變化量比較明顯.

作者: 洪峰 时间: 2004-5-13 06:25

用反射控制应该

会好一点的

作者: mzxnhgs 时间: 2004-5-13 17:04

我经常用SIO2来镀首层，而且是透过式的，还算可以

不过信号变化量的小及速率的不稳定对制程的稳定性确实是个头痛的问题。

作者: golgway 时间: 2004-7-14 22:45

可以尝试北京欧普特公司设计制造的filmonitor BS矿光谱光学镀膜监控系统。

www.goldway.com.cn

作者: 李伟华 时间: 2004-7-14 23:43

我的供一份资料供大家参考

光控和晶控原理

[attach]2676[/attach]

作者: 李伟华 时间: 2004-7-15 00:02

大家在采购光控比较片时有没有发生困难？

现在晶控片已经实现了技术标准的统一。

但每家镀膜公司对光控比较片的要求差异还有点大

我很想知道大家各自对光控比较片的技术要求。

如果每家公司的要求能大致统一，那么我想光控片也会象晶控片一样变成一个通行的商品。

大伙说说看。

作者: chz321 时间: 2004-7-15 06:42

可以用些折射率与SIO2相差较大点的嘛,以前我们公司如果有这样情况的话就用LN做监控片,

作者: piaoyao75 时间: 2004-7-25 23:29
oh

作者: Leesnow 时间: 2004-7-27 19:27
对啊,我们也使用折射率不同的玻璃作为监控!,或者是前面多镀几层,减少误差!

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-12-30 10:58

感谢分享。。。最近在恶补光控知识。

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