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标题: 请教Si镀膜相关问题 [打印本页]

作者: ic5 时间: 2004-5-11 18:46
标题: 请教Si镀膜相关问题

请问大侠，从目前国内镀膜水平来说，给Si片镀增透膜的水平能到多少？（1300~1600nm）

目前常用的材料用什么？其折射率为多少？

期待您的回复！

作者: yin99 时间: 2004-5-12 22:57
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作者: mzxnhgs 时间: 2004-5-13 00:58

Nb2O5亦可

作者: yh15430 时间: 2004-5-13 04:19
标题: 回复：（ic5）请教Si镀膜相关问题
用 ZnS/MgF2双层膜及可搞定。透过率大约99％！

作者: yin99 时间: 2004-5-13 20:07
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作者: ic5 时间: 2004-5-13 21:15
谢谢大家！我都搞定了！只想了解一些这方面的内容！

作者: yin99 时间: 2004-5-14 01:29
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作者: liyun 时间: 2004-5-14 16:58
不太懂，请大家别见笑。Si片不透明，度上去的膜怎样用？

作者: ic5 时间: 2004-5-14 17:56

我的膜系：Air/0.975H1.1L1.635H1.733L1.434H1.838L1.708H1.05L/Si

H为Ta2O5,n=2.135

L为SiO2, n=1.455

Si n=3.4

入射角为45度

作者: ic5 时间: 2004-5-14 17:56
上面的膜系是反了！特此更正！

作者: liyun 时间: 2004-5-14 18:33
版主也不理人，哼。因为我们也在Si上镀膜，不过是研究导电性方面的，不太理解在Si上如何用增透膜。请斑竹赐教，谢谢。

作者: yin99 时间: 2004-5-14 20:20
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作者: liyun 时间: 2004-5-14 23:21
谢谢yin99

作者: yin99 时间: 2004-5-15 01:08
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作者: yh15430 时间: 2004-5-15 03:56
标题: 回复：（ic5）上面的膜系是反了！特此更正！
膜系反了应订正，也该给结果及技术指标。若不提指标好坏，折射率小于2的单层膜就可以，何必那么麻烦？?

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