关于ZERNIKE系数我想是你输入的不对.仔细检查一下或看一下帮助.
辅助装校的模块是ALI. 只要输入干涉仪得到的INT文件. 指定CMP(补偿)的量. 然后就可以运行ALI了.
例子:
!模拟出一系列实际的干涉图形(干涉仪得到的干涉图),文件名为CASS.1.INT,.2.INT...共五个视场
RES CV_LENS:CASSRC YAN 0 .6 -.6 0 0 ! + and - fields in x and y XAN 0 0 0 .6 -.6 DAR S2 XDE S2 -0.15 YDE S2 0.1 ADE S2 0.1146 ! +0.002 radians BDE S2 -0.0573 ! -0.001 radians TIN S1 .01 PMA; ZRN EXP 36; WIN CASS; GO
这里将原始的设计文件重新导入程式.并指定相应的补偿量.
RES ! Restore the original lens and fields XAN 0 0 0 .6 -.6 YAN 0 .6 -.6 0 0 CMP TIL S2 ! Specify x and y tilt compensation CMP DEC S2 ! Specify x and y lateral shift comp. CMP DLT S1 ! Specify z shift of primary comp.
运行ALI功能,得出结果.(装校可以根据此来调).
ALI INT F1 CASS.1 INT F2 CASS.2 INT F3 CASS.3 INT F4 CASS.4 INT F5 CASS GO
具体的结果就不写出了,它指明了相应的量.(对应于补偿子TIL,DEC,DLT)
可以简单的分析,但是我没有做过,理论上讲,可以用它的NSS来做。但是CodeV在这方面不强。
你可以用Tracepro,Lighttools之类的软件来做杂光。
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