光电工程师社区

标题: [求助]难啊!!急!! [打印本页]

作者: optionbeam 时间: 2004-5-19 05:09
标题: [求助]难啊!!急!!
哪位高手制备过80多层以上的超窄带滤光片(带宽1nm)?尤其对监控有什么特别要求,其次是温度控制,沉积速率控制,工件架旋转速率控制等等?不胜感激!!!

作者: nqh1978 时间: 2004-5-20 01:42
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