光电工程师社区

标题: 镀IRcut 清洗过后裂膜 [打印本页]

作者: carpty    时间: 2011-7-18 22:50
标题: 镀IRcut 清洗过后裂膜
新机器调试,做的IRCUT 清洗后镜片出现裂膜现象,温度在245没有离子源。是不是温度太低?还是放气温度过高,放气温度在170度。
作者: HGcoating    时间: 2011-7-19 09:31
170度充气是高了些,最好有个离子源吧。估计你工艺参数还不成熟
作者: carpty    时间: 2011-7-19 17:59
充气温度现在降到130充气也会出现裂膜,我是充气后等了半个小时就用清洗机清洗,清洗的过程中没有出现裂膜的现象,烘烤完以后就出现了裂膜。是不是镀完膜以后放的时间短了,要放时间长一点,今天晚上试一下。
作者: xiao2011    时间: 2011-7-19 21:31
170度不高
作者: ghtzna    时间: 2011-7-20 00:23
靶材 机台真空度为多少 镀膜速率  还有你的工艺参数需要show出来   你的膜层是有问题的 到时候环测会有问题的
作者: sery1234    时间: 2011-7-21 08:58
呵呵,和放气温度影响不大,最多影响点表面质量,200以下放气应该都没问题


作者: sery1234    时间: 2011-7-21 09:00
我想是你膜层的应力问题,至于是哪个工艺参数引起的,我把你怎么做的,像5楼说的,大家好帮你参谋下。
作者: 13505171760    时间: 2011-7-21 15:21

作者: fasces9    时间: 2011-7-25 11:37
我觉得与工艺参数有很大关系,应该是应力问题造成的,产品出来弯曲厉害不,产品厚度多少? 镀多少层膜都有关系
作者: yufe16fisher    时间: 2011-7-25 11:49
气充多少?
作者: carpty    时间: 2011-7-25 20:14
谢谢各位大大,问题已经解决,就是降温前恒温5分钟。
作者: guhua530    时间: 2011-7-25 21:16

作者: wdydede    时间: 2012-5-28 23:48

作者: wdydede    时间: 2012-5-28 23:49
弱弱地问一下:一般IRCUT膜要后处理吗?




欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2