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标题: 新手求教：镀Si问题 [打印本页]

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-19 11:01
标题: 新手求教：镀Si问题
如题：目前有意向开发镀Si膜料
方式：电子枪蒸镀、石墨坩埚

对镀Si没有经验，望各位大侠指点。

该贴已经同步到 yuvia_ye的微博

作者: xiao2011 时间: 2011-7-19 21:18

作者: E501559 时间: 2011-7-20 11:26
二氧化硅---电子枪蒸镀
一氧化硅---电阻蒸镀
问题具体一点，我尽量为你解答！

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-20 13:15

E501559 发表于 2011-7-20 11:26
二氧化硅---电子枪蒸镀
一氧化硅---电阻蒸镀
问题具体一点，我尽量为你解答！

是单晶硅，我们准备是用石墨坩埚镀，颗粒状的

作者: E501559 时间: 2011-7-20 13:26

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:15
是单晶硅，我们准备是用石墨坩埚镀，颗粒状的

是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪
之前用过石墨的坩埚衬套，也可以的，没问题

可保持联系！

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-20 13:57
镀制过程有没特殊要求啊？
会不会喷溅很厉害

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-20 13:59

E501559 发表于 2011-7-20 13:26
是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪 ...

yuvia_ye@126.com
有空多联系哈

作者: HGcoating 时间: 2011-7-20 14:37

请问

是的，我们用的也是单晶硅，晶体颗粒状
用电子枪蒸镀蛮好的，我们用的是无氧铜坩埚美国TELEMARK电子枪
之前用过石墨的坩埚衬套，也可以的，没问题

可保持联系！

你的TELEMARK电子枪好用吗，镀SI光斑如何？我的光斑很大无法聚焦。

作者: E501559 时间: 2011-7-20 14:39

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 13:57
镀制过程有没特殊要求啊？
会不会喷溅很厉害

镀膜过程中二氧化硅很稳定的，不想其他的膜料，比如说二氧化钛，如果膜料没融好的话，容易喷溅，而硅不同，不需要融膜料

作者: HGcoating 时间: 2011-7-20 14:39
关于PROVAC真空镀膜机的贴子有镀SI时照片。谁能看看电子枪是否次品

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-20 15:00

E501559 发表于 2011-7-20 14:39
镀膜过程中二氧化硅很稳定的，不想其他的膜料，比如说二氧化钛，如果膜料没融好的话，容易喷溅，而硅不同 ...

有点不大懂，我们镀制二氧化硅也没问题啊，那已经成熟了
现在目前主要是要开发镀制单晶硅膜料，单晶硅也不需要熔料吗？

作者: E501559 时间: 2011-7-21 10:39

yuvia_ye 发表于 2011-7-20 15:00
有点不大懂，我们镀制二氧化硅也没问题啊，那已经成熟了
现在目前主要是要开发镀制单晶硅膜料，单晶硅也 ...

单晶硅是新型靶材吧，呈灰色的晶体颗粒，你们镀出来的产品是用在太阳能上吗？
我们还没有开发镀单晶硅，多多交流！相互学习！

作者: xiazg 时间: 2011-7-21 13:09
晶振片制造专家 -----嘉兴晶控电子有限公司

嘉兴晶控电子有限公司坐落于浙江省嘉兴市余新镇镇北路23号，厂房面积7600平方米，员工100人，是一家专注于石英晶振片研发、生产和销售的科技企业。
JJK创建于2000年2月，主要业务是49U压电石英晶片的生产和销售。2002年JJK逐步进入石英晶体振荡式传感器行业，主要产品为石英晶振片和石英晶体微太平。2005年，JJK成为了美国著名晶振片企业的晶振片基片配套企业。2008年，JJK引进美国真空镀膜机和检测设备。自主研发生产石英晶振片，并拥有自己的JJK品牌。主要有金，银、合金，5MHZ\6MHZ等18种规格的石英晶振片。品质稳定、价格合理、交货及时、服务周到，深受国内外客户的青睐。产品适用于光学、光电、LED 、半导体等行业的镀膜监控，可完全替代进口的晶振片。
为客户提供最可靠的晶振片是JJK不懈追求的目标。为进一步满足客户的需求，JJK不断研发关联新产品，为客户提供多种价廉物美的镀膜材料（AL2O3/SIO2/TI2O3/MgF/ZrO等）晶控探头等相关备件等。
咨询电话 0573-83678773 15068338773 夏志国经理 QQ 1046118891

作者: yuvia_ye 时间: 2011-7-21 13:58