中国科学院安徽光学精密机械研究所研制生产和销售准分子激光器，产品类型为：XeCl准分子激光器（308nm）、KrF准分子激光器(248nm)、ArF准分子激光器（193nm）等，广泛用于激光化学、激光光谱、气相沉积、表面物理和激光医学等领域。准分子激光是泵浦染料激光器的理想光源。也适应于集成电路的光刻工艺和高分辨率的全息照像及非线性光学的应用。还可用于同位素分离，半导体工艺，微型刻蚀和切割，微型打孔、沉积涂膜和农业育种等诸多方面。本所也提供准分子激光器的配件。欢迎与我们联系。
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