光电工程师社区

标题: 最外层镀制SIO2后，膜层硬度达不到客户要求，是怎么回事，该如何克服？ [打印本页]

作者: 阿俊 时间: 2011-7-22 08:43
标题: 最外层镀制SIO2后，膜层硬度达不到客户要求，是怎么回事，该如何克服？
如题。
客户使用的是专用测试膜硬度的美国产橡皮擦，加一定的压力后来回擦拭20次，
出现擦试伤或掉膜现象。
各位，有什么办法能克服！
是增透膜，外层不可用MGF2

作者: mangovc 时间: 2011-7-22 09:53
有用离子源辅助么？没有那就加，如果有的话就增加功率，提高辅助效果

作者: 阿俊 时间: 2011-7-22 09:58
离子源没有，只能从工艺上下功夫

作者: filmokay 时间: 2011-7-22 16:45
清洁，漏气

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 20:29
可以试试从温度下工夫，提高或者降低温度，然后对不同温度的3炉产品（正常、升高、降低）对比硬度

作者: greenhaw 时间: 2011-7-24 14:52
最外层可以试着换为Al2O3试试。

作者: longmin 时间: 2011-7-24 23:12
提高真空度
基板溫度提高

作者: meilirensheng 时间: 2011-7-25 09:06

作者: whq197206 时间: 2011-7-25 13:52
提高基板温度

作者: 阿俊 时间: 2011-7-27 14:51
我的膜系是tio2与sio2叠加的，tio2的温度不敢太高。现在机台内实际温度为280度。太高或太低会导致膜强度不良，也就是膜弱

作者: HGcoating 时间: 2011-7-27 15:24
考滤下速率或换换材料，也许有帮助

作者: filmokay 时间: 2011-7-27 16:16
其实这个不能归结为硬度，是牢固度的问题

作者: 阿俊 时间: 2011-8-1 18:24
那有什么方法可以解决这问题

作者: killjackson 时间: 2011-8-4 10:07
12楼的仁兄说的对，是牢固度问题。
把第一层做好就行了

作者: 木口 时间: 2011-8-4 16:20

你最后的sio2是多厚的啊？可能太薄了！
或者可以换成al2o3啊！
你现在的温度是280度，应该没有问题！
从工艺上面找吧！

作者: hghg 时间: 2011-8-4 16:40
最后加镀一层sio,就OK！

作者: xiao2011 时间: 2011-8-8 15:12

作者: fql3310 时间: 2011-8-10 09:02
最后一层镀氧化铈行不行?

作者: 阿俊 时间: 2011-9-1 15:53
最外层加AL2O3，不耐洗，

作者: 懒得糊涂 时间: 2011-9-8 17:56
温度，速度问题吧，280度是什么温度？温度计有可能会坏的……

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