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标题: 弱弱问一下，各位对付20um的麻点镀膜有什么好方法？ [打印本页]

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 08:55
标题: 弱弱问一下，各位对付20um的麻点镀膜有什么好方法？
本帖最后由 fasces9 于 2011-8-4 14:22 编辑

对付20um的麻点，镀膜试过预溶与镀膜分开，大清机，板子刷的跟出厂似的，更换新的好的膜料，地用纯水拖了又拖，蒸发速度SIO2降到 0.8nm/s os50 降到0.25nm/s。。。镀膜环境是等到真空室里用测尘埃计数器降到0.3um每分钟少于80个才推片的，基底片都是在强光灯下看了没灰尘才排的，而且直到上片前防护措施都比较OK 镀出来麻点竟然还是40um

，没辙了

作者: wazxq 时间: 2011-7-23 10:14
什么镀膜机,那儿的枪

作者: filmokay 时间: 2011-7-23 16:16
拖地也算措施了？实测环境到底有多干净？

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 16:20

wazxq 发表于 2011-7-23 10:14
什么镀膜机,那儿的枪

光驰机 GENER-1300 日本电子的枪

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 16:23

filmokay 发表于 2011-7-23 16:16
拖地也算措施了？实测环境到底有多干净？

用尘埃测试器测试到5um以上灰尘没有为止，一般来说1um都很少，0.3um灰尘倒是很多

作者: filmokay 时间: 2011-7-23 16:42
新的好的膜料的判断标准是什么？什么好？镀膜速率稳定？熔料彻底，不溅料？
换过没有改善赶紧换回来。呵呵

作者: fasces9 时间: 2011-7-23 17:45

filmokay 发表于 2011-7-23 16:42
新的好的膜料的判断标准是什么？什么好？镀膜速率稳定？熔料彻底，不溅料？
换过没有改善赶紧换回来。呵呵

OPTRON 最贵的那种昨晚开始溶药我亲自搞的，中间没看，今天溶完药我也是亲自看着的，目前正准备试完全溶透一点都不溅的药，看看效果有没有改善。
镀膜速率是稳定的。

作者: ghtzna 时间: 2011-8-2 14:31

fasces9 发表于 2011-7-23 17:45
OPTRON 最贵的那种昨晚开始溶药我亲自搞的，中间没看，今天溶完药我也是亲自看着的，目前正准备试完全溶 ...

其实跟你的镀膜环也有关系的，还有就是排气设定

作者: jiayuch 时间: 2011-8-3 08:14
你找问题还是应该盯住真空室找，只要是超净环境就影响不大

个人经验

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 09:42
我是个菜鸟，不太懂。
膜料蒸速越低，光洁度就越好吗？另外，你使劲拖地，会不会导致空气湿度过大了？

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 13:45

ghtzna 发表于 2011-8-2 14:31
其实跟你的镀膜环也有关系的，还有就是排气设定

排气是刚开始抽气由于门密封不是很好是有点声音，也许是个原因，不过我对比过几台机子，找的是光洁度最好的一台。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 13:48

jiayuch 发表于 2011-8-3 08:14
你找问题还是应该盯住真空室找，只要是超净环境就影响不大个人经验

谢谢，呵呵目前能想出的就是膜料以及光斑大小的问题了

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 13:49

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 09:42
我是个菜鸟，不太懂。
膜料蒸速越低，光洁度就越好吗？另外，你使劲拖地，会不会导致空气湿度过大了？

一般来说是这样的，地面拖地勤快在我认为能有效把灰尘吸附住，在灰尘扬起前就又把灰尘拖没了

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 14:14
我觉得这洁净度是足够了。因为我看过一些公司的镀膜防尘条件并没有很苛刻。
一般而言，镀膜后的光洁度本来就会比镀膜前下降一个等级的。不知道为什么你要求这么高，与其在镀膜上下这么大的功夫，我个人认为把基底材料的光洁度提高一个等级似乎更容易一些。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 14:20

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 14:14
我觉得这洁净度是足够了。因为我看过一些公司的镀膜防尘条件并没有很苛刻。
一般而言，镀膜后的光洁度本来 ...

因为最近公司接到很多订单都是20um，呵呵，老板急我也急啊，本人觉得20um以下可能是以后的主流，因为那么小的麻点拥有更好的像素

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 14:28
不是可能啦，是肯定。因为像素会越来越高，所以对光洁度的要求也会越来越高的。
但是，像我说的，很多公司的镀膜都只肯承诺降一个数量级的，我工作了十几年都没见哪个公司敢打包票镀膜后不降光洁度。你这样难度很高啊。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:00

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 14:28
不是可能啦，是肯定。因为像素会越来越高，所以对光洁度的要求也会越来越高的。
但是，像我说的，很多公司 ...

呵呵，相比你，我入行才1年，你的意思是镀膜前的工序要做的更好点，比如抛光。。。
你分析的很有道理，抛光后水晶片的点子是5um，然后超声波清洗（全部换新的纯水），之后强光灯检验（在带离子风的FFU下），我觉得前面工序已经没什么可挑剔的了，这样的成本虽然超级高，但是。。。

还是40um的麻点，您觉得那里还需要注意或者要改善的？

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:00
装基片的夹具有没有问题，蒸发源周围及膜料本身，膜料周围，，这些地方产生麻点的机率比其它地方要大多了

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:07

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:00
装基片的夹具有没有问题，蒸发源周围及膜料本身，膜料周围，，这些地方产生麻点的机率比其它地方要大多了

夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料周围因为是第1炉，清机后用无尘布擦拭干净了，所以应该很干净。您有什么办法或者好的方法可以改进？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:10

fasces9 发表于 2011-8-4 15:00
呵呵，相比你，我入行才1年，你的意思是镀膜前的工序要做的更好点，比如抛光。。。
你分析的很有道理，抛 ...

晕，10-5的降到60-40？这个太狠了，我说的只是降低一个等级而已，例如说从10-5降低到20-10。
你能否确认到进入镀膜机前，基片的光洁度仍然是10-5吗？

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:13
你在楼顶不是说麻点是20um的么，怎么又说是5um的了？究竟是20捏？还是5捏？

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:20

fasces9 发表于 2011-8-4 15:07
夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料 ...

膜料预熔时膜料下面的底料是否干净？膜料存放时是否常温干燥存放，用的是电子枪的话，枪头脏不脏？特别是枪灯丝周围，枪光斑绕射过来时，所经过的周围是否干净

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:22

fasces9 发表于 2011-8-4 15:07
夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料 ...

还有个，夹具的脱膜，最好是用喷砂机进行脱膜，直到夹具表面的膜层全部去掉，再清洗干净

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:22

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:20
膜料预熔时膜料下面的底料是否干净？膜料存放时是否常温干燥存放，用的是电子枪的话，枪头脏不脏？特别是 ...

常温干燥是指温湿度要在什么范围？膜料包装外面都没有说明的，我都不知道该怎么放好。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:25

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:22
还有个，夹具的脱膜，最好是用喷砂机进行脱膜，直到夹具表面的膜层全部去掉，再清洗干净

哇，原来有这么多讲究啊。可怜我的公司除了镀膜机，啥也没有。。。一直以为夹具上的膜没有影响呢。。。
cgzsad0432，看来您对镀膜很专业啊。以后还请多多指教了。

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:28

fasces9 发表于 2011-8-4 15:07
夹具是脱膜后用超声波清洗的，蒸发源周围打磨干净后用无尘布擦拭干净，膜料是专门预融好后再装进去，膜料 ...

还有个问题，如果用的是国产镀膜机的话，随着天气的变化，在某个时间段，国产镀膜机都会产生麻点的，这个问题以前我有遇到过，具体原因与冷却水，泵阀抽气过程相关，如果是这个原因的话，那就解决不了了。。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:33

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 15:13
你在楼顶不是说麻点是20um的么，怎么又说是5um的了？究竟是20捏？还是5捏？

抛光后光洁度是5um，镀膜后是40um

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:33

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 15:22
常温干燥是指温湿度要在什么范围？膜料包装外面都没有说明的，我都不知道该怎么放好。

主要是防止膜料受潮的，膜料受潮后会吸附灰尘的，，造成膜料不纯。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:39

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:20
膜料预熔时膜料下面的底料是否干净？膜料存放时是否常温干燥存放，用的是电子枪的话，枪头脏不脏？特别是 ...

预融是我用全新的新坩埚融化的，98以上保证干净。常温干燥的保温箱最近才买的，膜料存放以前是直接存仓库，但是镀那个样品是买了新的膜料。枪头在镀膜时没注意，不过用吸尘器吸干净的，又找到一个可以改善的方法

。

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:39
一般镀膜只会降低一个量级而已，如果从5um降到40um，从光学分等级上来说，都属于是连降三级了，这个确实是有问题啊。
嗯，每年的某个时候，镀膜质量确实都会下降，我所知道的几个公司，发病的时间还都不一样，但一般来说似乎都是在多水的季节，你考虑一下，把湿度好好控制一下，降到40%以下吧。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:40

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:22
还有个，夹具的脱膜，最好是用喷砂机进行脱膜，直到夹具表面的膜层全部去掉，再清洗干净

喷砂机脱膜？没试过，不怕把夹具弄坏吗？我们是用药水泡干净的。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:45

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:28
还有个问题，如果用的是国产镀膜机的话，随着天气的变化，在某个时间段，国产镀膜机都会产生麻点的，这个 ...

用的是日本光驰gener-1300 ，去年没发病，今年6月与7月莫名奇妙的发各种病，也许有影响，冷却水温度测试了很多次，归纳为是晚上2点20度到21度，早上至中午22度，下午23度，有影响没？

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:48

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 15:39
一般镀膜只会降低一个量级而已，如果从5um降到40um，从光学分等级上来说，都属于是连降三级了，这个确实是有 ...

日本的客户也帮忙分析了，他们放大镀膜麻点得出是异物和膜料喷点，膜料来源没问题，我预融3遍才放进去镀膜的。。。那照这样分析与膜料的受潮有关了？

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:49

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 15:25
哇，原来有这么多讲究啊。可怜我的公司除了镀膜机，啥也没有。。。一直以为夹具上的膜没有影响呢。。。
...

夹具上有膜层的话，经加热后会产生脱落现象的

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:50

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:49
夹具上有膜层的话，经加热后会产生脱落现象的

夹具掉膜屑是个很严肃的问题。。。

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:52

fasces9 发表于 2011-8-4 15:45
用的是日本光驰gener-1300 ，去年没发病，今年6月与7月莫名奇妙的发各种病，也许有影响，冷却水温度测试了 ...

日本光驰的话，冷却水应该没什么问题的，

作者: cgzsad0432 时间: 2011-8-4 15:54

fasces9 发表于 2011-8-4 15:48
日本的客户也帮忙分析了，他们放大镀膜麻点得出是异物和膜料喷点，膜料来源没问题，我预融3遍才放进去镀膜 ...

如果是这样的话，基本上就是膜料问题了，受潮了，或者买来的时候，客户那边就已经受潮了

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:54

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:52
日本光驰的话，冷却水应该没什么问题的，

可是照样发病啊，下雨天不稳定，难道真的是环境湿度和温度的双重影响

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-4 15:55
受教了。从你的情况上来看，异物我认为还是要从清洁待镀晶体入手，你可以试着在装夹具后进入镀膜机前仔细再检验一次光洁度。喷点我就不知道了。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 15:58

Jimmy_tang 发表于 2011-8-4 15:55
受教了。从你的情况上来看，异物我认为还是要从清洁待镀晶体入手，你可以试着在装夹具后进入镀膜机前仔细再 ...

恩，我会试着从镀前再找原因的，谈不上什么受教，可能从事的重点不同，毕竟我是以搞好生产为主，还是多谢您的建议，也许刚刚好某个环节没注意到。

作者: fasces9 时间: 2011-8-4 16:07

cgzsad0432 发表于 2011-8-4 15:54
如果是这样的话，基本上就是膜料问题了，受潮了，或者买来的时候，客户那边就已经受潮了

谢谢你的分析，那我尽快从膜料受潮这方面入手

作者: ghtzna 时间: 2011-8-5 01:51

fasces9 发表于 2011-8-4 13:45
排气是刚开始抽气由于门密封不是很好是有点声音，也许是个原因，不过我对比过几台机子，找的是光洁度最好 ...

你可以不镀膜加热看一下是不是排气引起的麻点

作者: jiayuch 时间: 2011-8-5 13:03
用的什么离子源？

作者: fasces9 时间: 2011-8-10 21:49

ghtzna 发表于 2011-8-5 01:51
你可以不镀膜加热看一下是不是排气引起的麻点

恩，试过了，基片是脏的应该是充气引起的
但是其它几台机子门正常也有麻点啊。。

作者: fasces9 时间: 2011-8-10 21:51

jiayuch 发表于 2011-8-5 13:03
用的什么离子源？

有些机子无离子源其中霍尔离子源麻点最严重克尔夫曼情况好一点

作者: ghtzna 时间: 2011-8-11 08:32
这个说明你的机台洁净度也有问题这么严的东西基本上良率会比较低很好的办法是要话很多钱投入改造无尘室环境看老板愿意不

作者: cxm05371 时间: 2011-8-26 22:23
清洁一下挡板和坩埚周围，主要是抢周围

作者: chongying 时间: 2013-8-3 09:50
您好，我是做镀膜材料的新人，主要做车灯镀铝件铝层保护膜产品，也就是所谓的硅油。希望有兴趣的朋友一起交流：1030407206小吴，谢谢。

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