光电工程师社区

标题: 怎么样算材料的折算率比较准确？还有设计出来的曲线和实际镀出来的曲线平移了 [打印本页]

作者: liguang 时间: 2011-7-24 11:48
标题: 怎么样算材料的折算率比较准确？还有设计出来的曲线和实际镀出来的曲线平移了
怎么样算材料的折算率比较准确？还有设计出来的曲线和实际镀出来的曲线平移了，是那里出错了，怎么样解决，谢谢

作者: greenhaw 时间: 2011-7-24 14:51
平移是Tooling值计算不准确，需用单层进行标定H,L层Tooling值。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-7-24 22:16
需用单层进行标定H,L层Tooling值是什么意思啊

作者: liguang 时间: 2011-7-25 08:48
呵呵，解决了是Tooling值没算对，不过我还郁闷的是如果Tooling值算对了，那材料折算率跟实际镀出来的有什么关系？找了几个软件算了下材料折算率但算出来的都不一样，所以没敢用，希望高手指教下。谢谢

作者: 革命小酒 时间: 2011-10-3 00:42

作者: ipshjh2005 时间: 2011-10-18 07:20

作者: 逐梦者 时间: 2011-10-25 12:07
是啊，还有tooling 值怎么计算！

作者: xingmengwuheng 时间: 2011-11-5 23:53
tooling 值怎么计算！

作者: royyang 时间: 2012-6-17 17:02
学习学习

作者: zhesky 时间: 2012-6-18 22:10
tooling 值怎么计算！我也想知道

作者: 黑子杰 时间: 2012-6-20 14:45

作者: xiaojiang007 时间: 2012-6-20 17:17

greenhaw 发表于 2011-7-24 14:51
平移是Tooling值计算不准确，需用单层进行标定H,L层Tooling值。

这个tooling怎么计算啊？单层标定H L层是怎么做呢谢谢了

作者: xiaojiang007 时间: 2012-6-20 17:19

liguang 发表于 2011-7-25 08:48
呵呵，解决了是Tooling值没算对，不过我还郁闷的是如果Tooling值算对了，那材料折算率跟实际镀出来的有什么 ...

朋友是光控的吗请问下这材料的的tooling怎么计算的呢谢谢

作者: greenhaw 时间: 2012-7-24 17:10

xiaojiang007 发表于 2012-6-20 17:17
这个tooling怎么计算啊？单层标定H L层是怎么做呢谢谢了

分别作单层然后用台阶仪测试厚度与理论值对比

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-25 06:41
单层做得厚一点，让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据，得出一个厚度值。tooling就是这个厚度值/设计厚度*100%

作者: xiaojiang007 时间: 2012-7-28 12:15

huyuzhe 发表于 2012-7-25 06:41
单层做得厚一点，让他在分光光度计上的波峰波谷多一点。然后用软件拟合测试的数据，得出一个厚度值。toolin ...

这个厚度是指的什么厚度呢我的机台是光控的，请问是不是光学厚度呢请教步骤谢谢！！我以前听别人说过用波长变化来求这个tooling ,就是软件模拟的波长跟实际镀出后变化的波长这样的方法是否正确呢请指教

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-29 15:40

xiaojiang007 发表于 2012-7-28 12:15
这个厚度是指的什么厚度呢我的机台是光控的，请问是不是光学厚度呢请教步骤谢谢！！我以前听别人 ...

可以的，比如说用tfc，把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面，然后优化单层厚度，就可以知道你实际的物理厚度。然后如果你是光控，那么要把光控的设计光学厚度换算成物理厚度，然后除一下就可以了

作者: xiaojiang007 时间: 2012-7-30 16:39

huyuzhe 发表于 2012-7-29 15:40
可以的，比如说用tfc，把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面，然后优化单层厚度，就可以知道你实际的物 ...

光控的设计光学厚度换算成物理厚度怎么转化呢？谢谢朋友指导下谢谢

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-30 17:04

xiaojiang007 发表于 2012-7-30 16:39
光控的设计光学厚度换算成物理厚度怎么转化呢？谢谢朋友指导下谢谢

软件模拟咯，tfc不是可以输入光学厚度的吗？直接输入物理厚度不就出来了

作者: xiaojiang007 时间: 2012-7-31 13:48

huyuzhe 发表于 2012-7-30 17:04
软件模拟咯，tfc不是可以输入光学厚度的吗？直接输入物理厚度不就出来了

tooling值非要用物理厚度吗，我之前的那个方法可以求出吗我现在不明白的是物理厚度一个是我模拟的物理厚度，一个是我实际镀出来的厚度，这个厚度怎么求，我不明白可否朋友讲解下谢谢

作者: 那些年~那些天~~ 时间: 2012-8-2 23:24
怎么简单的问题这么多人问，郁闷了

作者: 那些年~那些天~~ 时间: 2012-8-2 23:25
Q371450218 想知道的加

作者: lkai1014 时间: 2012-8-3 15:09

1、先用TFC模拟下 2、用模拟的物理或光学厚度蒸镀次→测试分光结果→算出药材折射率输入到TFC中
3、将测试结果用TFC模拟出来，现在模拟出来的物理或光学厚度为实际所镀值
4、tooling=实际值/设计值*100% 5、再使用一简单的BPF（如中心波650 HLHLH2LHLHLH）进行tooling值微调。

作者: a99533126 时间: 2012-8-5 22:20
本帖最后由 a99533126 于 2012-8-5 22:23 编辑

xiaojiang007 发表于 2012-7-31 13:48
tooling值非要用物理厚度吗，我之前的那个方法可以求出吗我现在不明白的是物理厚度一个是我模拟的 ...

实际基片膜厚=理论膜厚（晶控设定厚度即你模拟的膜厚）*tooling值

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-8 00:58
TOOLING值偏差大会不会影响形状。。。。。。。。假设，是500%

作者: xiaojiang007 时间: 2012-8-9 16:57

lkai1014 发表于 2012-8-3 15:09
1、先用TFC模拟下 2、用模拟的物理或光学厚度蒸镀次→测试分光结果→算出药材折射率输入到TFC中
...

谢谢朋友的回答我现在有点理解了朋友说的利用bpf进行微调是什么意思呢不大明白可以讲解下吗？十分感谢

作者: xiaojiang007 时间: 2012-8-14 11:35

lkai1014 发表于 2012-8-3 15:09
1、先用TFC模拟下 2、用模拟的物理或光学厚度蒸镀次→测试分光结果→算出药材折射率输入到TFC中
...

请问大哥当我知道了药材的折射率后，用tfc进行了模拟，那厚度是不是要跟之前最初模拟的厚度一样呢，因为这样的话前后两者曲线有差异怎么进行比对呢这点我不是很清楚望朋友解答

作者: xiaojiang007 时间: 2012-8-14 11:38

huyuzhe 发表于 2012-7-29 15:40
可以的，比如说用tfc，把你用光度计测出来的曲线读进点优化里面，然后优化单层厚度，就可以知道你实际的物 ...

为什么要优化单层厚度，才能知道实际厚度呢这点我不清楚谢谢朋友的解答

作者: lkai1014 时间: 2012-8-14 12:47

xiaojiang007 发表于 2012-8-14 11:35
请问大哥当我知道了药材的折射率后，用tfc进行了模拟，那厚度是不是要跟之前最初模拟的厚度一样呢，因为这 ...

要是实际测出来的分光和最初模拟的一样分光曲线重合，你设计出来是什么结果镀出来的结果也差不多的话那么你的tooling就是100%了，如果不重合你就需要这个偏差比值。使用TFC看看实际和模拟厚度之差作比值..........

作者: xiaojiang007 时间: 2012-8-15 14:43

lkai1014 发表于 2012-8-14 12:47
要是实际测出来的分光和最初模拟的一样分光曲线重合，你设计出来是什么结果镀出来的结果也差不多的话那么 ...

朋友所说的使用TFC看看实际和模拟厚度之差作比值这句话怎么理解因为我的是光控的机器，那在此的话这个实际的和模拟的厚度，这个厚度以我的光控来说是什么厚度呢，光学厚度吗？还是物理厚度呢？

作者: lkai1014 时间: 2012-8-16 09:01

xiaojiang007 发表于 2012-8-15 14:43
朋友所说的使用TFC看看实际和模拟厚度之差作比值这句话怎么理解因为我的是光控的机器，那在此的话这个实 ...

我已加你QQ了

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-22 02:42
最近有心得特来分享，不知道对不对，例如 L TOOLING 原来是100% H 也是100% 中心波长是550，一镀出来发现长了一模拟发现比我设计的长了10个NM 一分析原来是L H 配比不对 L 多 H少那我就想 L 改成102，102/100*550=561 ,H还是100，那么结果是什么呢？结果就是镀成了561 我说的对吗？求高手喷我！！！

作者: liguang 时间: 2012-9-11 00:51

魅力薄膜发表于 2012-8-22 02:42
最近有心得特来分享，不知道对不对，例如 L TOOLING 原来是100% H 也是100% 中心波长是550，一镀出来发现长 ...

如果镀出来误差太大，只能说明你TOOLING还是没算对，感觉你这样调没什么意思

作者: hackersc 时间: 2012-9-11 09:53

lkai1014 发表于 2012-8-16 09:01
我已加你QQ了

HLHLH2LHLHLH 请问这个是做什么用的只是用来测试tooling的准确性？那为什么用这个更好？随意做个hl^5或者其他的什么难道不可以么？
还听说有个检测均匀性的膜系 H2L2H2L2H2L2H2L2H2LH 假如我用这个呢可以么？二者又有什么比较大的区别？

多谢多谢
q：148103723 谢谢

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-9-13 19:01

liguang 发表于 2012-9-11 00:51
如果镀出来误差太大，只能说明你TOOLING还是没算对，感觉你这样调没什么意思

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-9-13 19:08

魅力薄膜发表于 2012-9-13 19:01

我的意思是这样子滴：在曲线形状一致的情况下，要保持1:1的配比，也就是继续保持形状，也就是你设计的是哪个样子的曲线，镀出来的也是那个样子，包括反射率，波段都吻合，前提是折射率要算得准确，然后才能修改TOOLING，要不你这个波段吻合，其它波段不吻合，又要修改TOOLING。我所说的这个只是在折射率算的准确的情况下，做一些微调，以达到你所要求的波段。

作者: qasy 时间: 2012-9-23 23:10

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 13:49

作者: crl0129 时间: 2013-12-8 15:11

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