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标题: 关于粗糙度的问题 [打印本页]

作者: aimy127 时间: 2004-6-8 00:53
标题: 关于粗糙度的问题

不好意思，问一下各位

请问粗糙度为 0.3nm RA 是指什么样的光学表面加工标准

作者: guangxuehao 时间: 2004-6-9 01:35

表面粗糙度

表面粗糙度是指加工表面上的微观几何形状误差,对于我们光学元件来说,就是经过抛光后,光学表面微观的几何形状,

这个指标,我以前主要是用接触式粗糙度仪来测量的.

表面粗糙度可用Ra（轮廓的平均算术偏差）和Rz（不平度平均高度）两者之一来评定,但前者好象更通用一点,另外从概率上来讲,也更为精确与客观一点.

不妥不当之外,请相关人士指点!

作者: jackonlee 时间: 2004-6-9 17:51
一般常用RMS(root means square) 均方根值来表示。

作者: wazxq 时间: 2004-6-13 04:57

那请教一下，国内有高精度抛光吗，我记的是 0.5 Ra

作者: lczhy00001 时间: 2004-6-13 18:05

LN晶体还可以!

作者: qx__wei 时间: 2004-6-14 02:47

表面粗糙度,在高精度光学元件和电子元件（硅片）主要用Rq值来表示。

作者: qx__wei 时间: 2004-6-14 02:49
有知道国内有多少能达到这个表面粗糙度水平的？

作者: aimy127 时间: 2004-6-15 04:44

这个指标,我以前主要是用接触式粗糙度仪来测量的,请问2楼的先生，你一般测量的范围在多少呢，是微米级还是纳米级？

另请问底楼，是否0.3nm很不容易达到？

作者: ruijieli 时间: 2004-6-16 17:22
用WYKO轮廓仪（非接触式）可以测到0.3nm

作者: jackonlee 时间: 2004-6-17 18:36
AFM可以测量，极度可达到0.08A.

作者: zeoch 时间: 2004-7-3 00:47

一般常用RMS(root means square) 均方根值来表示。

rms 与Rq是什么关系呢？

好像接触式的form talysurf轮廓仪可以达到0.8nm.

作者: jackonlee 时间: 2004-7-3 01:14
rms和 Rq好像是一个概念（3D）

作者: blackdarck 时间: 2004-12-4 23:12
国内的极限可能是8nm，0.3nm可能国内做不到，另外也必要这么高

作者: qx__wei 时间: 2004-12-6 00:05
rms和 Rq是一个概念.

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