光电工程师社区

标题: 我想学习镀膜机具体抓TOOLING的方法 和计算折射率的方法,好心人指教下! [打印本页]

作者: 吥哙放弃、、    时间: 2011-7-28 14:11
标题: 我想学习镀膜机具体抓TOOLING的方法 和计算折射率的方法,好心人指教下!
我想学习镀膜机具体抓TOOLING的方法 和计算折射率的方法,好心人指教下!
作者: 吥哙放弃、、    时间: 2011-7-28 14:12
我的QQ:345071543
作者: cgzsad0432    时间: 2011-7-29 15:18
搞镀膜的你连这个都不会??你们的老板也太有钱了,我怎么就没有遇到过呢。。。
作者: jiayuch    时间: 2011-8-2 08:10
做镀膜tolling和均匀性是基本的  必须会
作者: 吥哙放弃、、    时间: 2011-8-2 18:21
具体怎么操作?
作者: ipshjh2005    时间: 2011-8-2 21:09
学习中
作者: wangjg8955    时间: 2011-8-25 22:08
学习中!
作者: cxm05371    时间: 2011-8-26 21:27
可以用TFC和实际的结合,煤炉都参照
作者: xiao2011    时间: 2011-9-3 22:21
学习中!

作者: 革命小酒    时间: 2011-10-2 23:26

作者: 革命小酒    时间: 2011-10-2 23:26

作者: 革命小酒    时间: 2011-10-2 23:26

作者: wangzhe027    时间: 2011-10-9 19:24
WO YE BU HUI
作者: hailin183    时间: 2011-10-17 00:06
TOOLING 和index是指什么啊 我最近也接触镀膜 可什么也不知道
作者: xiao2011    时间: 2011-10-17 01:11

作者: 阿俊    时间: 2011-10-17 14:57
知道就大方点,教一下,不在这里充老。
作者: 逐梦者    时间: 2011-10-25 12:09
可以的话,分享一下呗!
作者: fql3310    时间: 2011-10-25 13:38
楼上的怎么你这个不懂?你不是做镀膜的?

作者: Jimmy_tang    时间: 2011-10-25 14:19
如果会,请指教;如果不会,请酱油;如果酱油也不想,请路过。
作者: xiaojiang007    时间: 2011-11-5 13:09
cxm05371 发表于 2011-8-26 21:27
可以用TFC和实际的结合,煤炉都参照

朋友可以具体说说吗  谢了  
作者: xj2010cg    时间: 2011-11-9 22:52

作者: 良哥    时间: 2011-11-16 16:27

作者: marcsle    时间: 2011-11-23 17:01
做镀膜的必须的基本功!
理论值和实测值的比值啊,一炉一炉的修正,折射率计算在论坛里面有个小软件,很好用的,下载来,输入极值波长TR,就算出來了。
如果没有的话,加我
作者: 缘睐汝痴    时间: 2011-11-23 21:23
marcsle 发表于 2011-11-23 17:01
做镀膜的必须的基本功!
理论值和实测值的比值啊,一炉一炉的修正,折射率计算在论坛里面有个小软件,很好 ...

恩,那些软件都是只能求1/4极值点的,如果想做多层膜比如介质高反膜的话,做出来很不准的哦,请问有什么方法可以求尽可能多的点的折射率呢
作者: Jimmy_tang    时间: 2011-11-24 14:49
marcsle 发表于 2011-11-23 17:01
做镀膜的必须的基本功!
理论值和实测值的比值啊,一炉一炉的修正,折射率计算在论坛里面有个小软件,很好 ...

那个小软件没有说明每列的含义啊。第一列是指反射率还是透射率?
如果是透射率,r=SQRT(1-SQRT(T))是什么含义?而n=(1+SQRT(r))/(1-SQRT(r))又是啥含义啊?
不应该是n=sqrt(ng*(1+sqrt(R))/(1-sqrt(R) )吗?ng是基底折射率。
作者: gxfdllg    时间: 2012-3-16 13:23
抓那个还是要一定的设备支持的!  用TFC抓的不准!
作者: 新手求教    时间: 2012-4-30 10:11
我也不会,求教!
作者: 新手求教    时间: 2012-4-30 11:22
我也不会,求教!
作者: xiaojiang007    时间: 2012-8-14 12:34
marcsle 发表于 2011-11-23 17:01
做镀膜的必须的基本功!
理论值和实测值的比值啊,一炉一炉的修正,折射率计算在论坛里面有个小软件,很好 ...

朋友说的计算折射率的软件可以发一份给我吗?非常感谢
作者: 2011059    时间: 2012-9-9 08:04

作者: 超越    时间: 2012-9-12 20:29
多层膜的我也不懂。
作者: ZWP5602    时间: 2012-10-15 02:39
TOOLING=测量的单层膜厚度/晶体振荡参考点上的厚度.
作者: ouyuu    时间: 2012-10-23 23:10
TOOLING,指的是水晶上测到的膜厚,和你实际材料上镀上的膜厚比值。
镀膜时,料板上的分布是不均匀的,为了让其均匀分布,所以需要有补正板修正。
不同的补正板有不同的TOOLING。
作者: chao_li0622    时间: 2012-10-24 19:29

作者: cr6808739    时间: 2012-11-1 20:19
期待大师的无私奉献:
TOOLING值、药材折射率 具体如何抓取?
作者: zyjchj    时间: 2012-11-8 09:45

作者: 李昌瑞    时间: 2012-11-9 20:06
镀多层膜的时候,抓TOOLING的时候,是不是应该镀得厚点,那样是不是准点哦?TOOLING=实际曲线和理论曲线的比值?
作者: b06010914    时间: 2012-11-17 06:17
Tooling   就是设计厚度与实际厚度的差值,就拿单层膜来说,设计时想镀100nm,输入的厚度也是100,但实际产品上厚度只有80nm,它们的比值就是Tooling值
作者: 贼头    时间: 2012-11-17 19:42
帮顶。.......。
作者: SKY520    时间: 2012-11-26 16:28

作者: qxb2008    时间: 2013-1-4 12:17

作者: chao_li0622    时间: 2013-1-4 19:38

作者: 超越    时间: 2013-1-7 08:29

作者: alisty    时间: 2013-1-9 15:55

作者: 白云    时间: 2014-4-24 21:37
学习学习啊、、、、、楼主会了吗。有资料传给我 谢谢
223402647@qq.com
作者: yuliang518    时间: 2014-5-6 18:01

作者: lkwxp    时间: 2014-12-27 20:06
tooling值的算法,晶控说明书上说的很清楚。
作者: 獨抹①丗仺涼    时间: 2015-4-20 21:49
做个单层膜,测试完带入TFC,把设计的曲线和镀出来的的曲线优化在一起,看看设计的厚度和实际的厚度就可以计算出TOOLING

作者: liul    时间: 2016-3-25 11:09

作者: 一路有你    时间: 2016-7-21 12:02

作者: MorningTech    时间: 2016-7-21 14:47
正如前面朋友所说的,tooling定义在晶控仪的说明书里有。
原始定义
  材料tooling = 样品厚度 / 晶控厚度 * 100%
应用:假定tooling初始设计值为Tooling1,设计厚度值为Tdesign, 实测样品厚度值为 Tsample
则tooling宜修正为
      Tooling2 = Tsample / ( Tdesing /Tooling1  ) = Tooling1 * (Tsample/TDesign);
理解:设计厚度值 = 晶控厚度*tooling, 就是说,晶控仪显示出来的厚度值实际是 内部厚度值 * tooling的结果!!!
式子虽比较简单,但有点绕人。 不经常做的人还真不容易记住,呵呵。

跟踪修正时,tooling还需工艺人员勤思考。

上海膜林科技有限公司,专业晶控仪研制商。愿作国内镀膜界的后盾。

作者: randyryl    时间: 2016-8-18 17:56





欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2