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标题: 伞架外圈的镀膜效果不佳 [打印本页]

作者: keyanfang 时间: 2011-8-6 16:56
标题: 伞架外圈的镀膜效果不佳
   最近在做测试，发现伞架外圈的镀膜效果不佳，我们使用的机台是光驰的
   怀疑是由于离子源脏了，或者氩气不纯，也有可能是护板太脏了导致外圈的镀膜效果不佳
   不过我不是很明白为什么影响的都是外圈的
谁能帮我解答一下？
谢谢！

作者: longmin 时间: 2011-8-6 23:22
你所謂不佳是
那個方向

作者: keyanfang 时间: 2011-8-6 23:45

longmin 发表于 2011-8-6 23:22
你所謂不佳是
那個方向

伞架外围，是边缘位置

作者: ghtzna 时间: 2011-8-7 08:55
你说的原因很正确，考虑很全面要抓住主要原因，MASK最外圈能不能起到作用

作者: longmin 时间: 2011-8-7 21:33
你用的GRID是原廠的嗎

作者: xiao2011 时间: 2011-8-8 15:08

作者: john03062003 时间: 2011-8-8 15:22
你所说的不佳是什么？光谱不好，还是附着力，或者其他的问题？这种情况是一直存在，还是突发的？

作者: rdwwq 时间: 2011-8-8 15:38

作者: ngfcaipiao 时间: 2011-8-8 19:22
我们也遇到类似的情况！

作者: xiazg 时间: 2011-8-10 09:00
兄弟晶振片需要不？嘉兴晶控电子晶振片制造专家 QQ1046118891 夏志国 15068338773

作者: 懒得糊涂 时间: 2011-8-13 16:15
应该是离子源的问题,对内外圈的覆盖不均匀,一般都是外圈差些

作者: meilirensheng 时间: 2011-8-14 18:39

作者: shikaiw 时间: 2011-8-15 10:53
一个个排除。

作者: 13505171760 时间: 2011-8-18 13:05
真不清楚，只能试验

作者: keyanfang 时间: 2011-8-20 23:01

longmin 发表于 2011-8-7 21:33
你用的GRID是原廠的嗎

是的。

作者: keyanfang 时间: 2011-8-20 23:03

john03062003 发表于 2011-8-8 15:22
你所说的不佳是什么？光谱不好，还是附着力，或者其他的问题？这种情况是一直存在，还是突发的？

做的是AS膜，耐磨性不好。并且问题一直存在。

作者: keyanfang 时间: 2011-8-20 23:04

ghtzna 发表于 2011-8-7 08:55
你说的原因很正确，考虑很全面要抓住主要原因，MASK最外圈能不能起到作用

之前并没有MASK，目前正在安装，修MASK

作者: xiaolan125 时间: 2011-8-22 13:03

作者: 宇宙深处 时间: 2011-8-24 14:20

作者: xiazg 时间: 2011-8-26 09:32
嘉兴晶控电子有限公司坐落于浙江省嘉兴市余新镇镇北路23号，厂房面积7600平方米，员工100人，是一家专注于石英晶振片研发、生产和销售的科技企业。
JJK创建于2000年2月，主要业务是石英压电晶体生产和销售。2002年JJK逐步进入石英晶体振荡式传感器行业，主要产品为石英晶振片和石英晶体微太平。2005年，JJK成为了美国著名晶振片企业的晶振片基片配套企业。2008年，JJK引进美国真空镀膜机和检测设备。自主研发生产石英晶振片，并拥有自己的JJK品牌。主要有金，银、合金，5MHZ\6MHZ等18种规格的石英晶振片。品质稳定、价格合理、交货及时、服务周到，深受国内外客户的青睐。产品适用于光学、光电、LED 、半导体等行业的镀膜监控，可完全替代进口的晶振片。
为客户提供最可靠的晶振片是JJK不懈追求的目标。为进一步满足客户的需求，JJK不断研发关联新产品，为客户提供多种价廉物美的镀膜材料如SIO2、TI2O3、TI3O5、MgF h4 AL2O3等，另有晶控探头相关备件等。
咨询电话 0573-83678773 15068338773 夏志国经理 QQ 1046118891

作者: wukeyi28 时间: 2011-8-26 11:16
修正档板看看

作者: keyanfang 时间: 2011-8-27 22:28

懒得糊涂发表于 2011-8-13 16:15
应该是离子源的问题,对内外圈的覆盖不均匀,一般都是外圈差些

这个也有考虑过，目前正在尝试把离子源倾斜的角度稍微调大一点，将照射范围往外圈调。

作者: wangxudong1227 时间: 2011-8-27 22:46
RF源的发散角决定的吧？
更换新栅网应该有好处。

作者: 逐梦者 时间: 2011-8-28 11:56

还是很模糊啊

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-22 17:05
护板太脏很有可能、还有就是光斑不要太深、真空度在高点、温度控制好，这些解决就OK了

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